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1. WO2020250685 - レーザ修正方法、レーザ修正装置

公開番号 WO/2020/250685
公開日 17.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/020967
国際出願日 27.05.2020
IPC
G09F 9/00 2006.1
G物理学
09教育;暗号方法;表示;広告;シール
F表示;広告;サイン;ラベルまたはネームプレート;シール
9情報が個々の要素の選択または組合せによって支持体上に形成される可変情報用の指示装置
B23K 26/00 2014.1
B処理操作;運輸
23工作機械;他に分類されない金属加工
Kハンダ付またはハンダ離脱;溶接;ハンダ付または溶接によるクラッドまたは被せ金;局部加熱による切断,例.火炎切断:レーザービームによる加工
26レーザービームによる加工,例.溶接,切断または穴あけ
B23K 26/351 2014.1
B処理操作;運輸
23工作機械;他に分類されない金属加工
Kハンダ付またはハンダ離脱;溶接;ハンダ付または溶接によるクラッドまたは被せ金;局部加熱による切断,例.火炎切断:レーザービームによる加工
26レーザービームによる加工,例.溶接,切断または穴あけ
351電気部品のトリミングまたは調整のためのもの
G01N 21/956 2006.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
88きず,欠陥,または汚れの存在の調査
95調査対象物の材質や形に特徴付けられるもの
956物体表面のパターンの検査
G02F 1/13 2006.1
G物理学
02光学
F光の強度,色,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲーテイング,変調または復調のための装置または配置の媒体の光学的性質の変化により,光学的作用が変化する装置または配置;そのための技法または手順;周波数変換;非線形光学;光学的論理素子;光学的アナログ/デジタル変換器
1独立の光源から到達する光の強度,色,位相,偏光または方向の制御のための装置または配置,例.スィッチング,ゲーテイングまたは変調;非線形光学
01強度,位相,偏光または色の制御のためのもの
13液晶に基づいたもの,例.単一の液晶表示セル
CPC
B23K 26/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
26Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
B23K 26/351
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
26Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
351for trimming or tuning of electrical components
G01N 21/27
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
27using photo-electric detection
G01N 21/956
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
956Inspecting patterns on the surface of objects
G02F 1/13
GPHYSICS
02OPTICS
FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
1Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
01for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
13based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
G02F 1/1368
GPHYSICS
02OPTICS
FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
1Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
01for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
13based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
1362Active matrix addressed cells
1368in which the switching element is a three-electrode device
出願人
  • 株式会社ブイ・テクノロジー V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 水村 通伸 MIZUMURA Michinobu
代理人
  • 特許業務法人 英知国際特許事務所 EICHI PATENT & TRADEMARK CORP.
優先権情報
2019-11048213.06.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) LASER REVIEW METHOD AND LASER REVIEW DEVICE
(FR) PROCÉDÉ D'EXAMEN AU LASER ET DISPOSITIF D'EXAMEN AU LASER
(JA) レーザ修正方法、レーザ修正装置
要約
(EN) In the present invention, automation of laser review is enabled, serving to improve job efficiency and to yield consistent review quality without being affected by operator skill. This laser review method includes a review step for determining a laser scanning range for a defect in a multilayer-film substrate and performing review processing by directing a laser beam onto the defect under established laser processing conditions. In the review step, spectroscopic spectral data on the defect is acquired, and on the basis of the spectroscopic spectral data, the laser processing conditions for the laser beam to be directed onto the defect are determined by a trained neural network. The neural network is trained by machine learning, with the training data being actually measured data that contains data on multilayer structures, spectroscopic spectral data for each multilayer structure, and laser processing experimental data for each multilayer structure.
(FR) La présente invention concerne l'automatisation de l'examen au laser, permettant d'améliorer l'efficacité du travail et d'obtenir une qualité d'examen constante qui n'est pas affectée par les compétences de l'opérateur. Ce procédé d'examen au laser comprend une étape d'examen consistant à déterminer une plage de balayage laser pour un défaut dans un substrat de film multicouche et effectuer un traitement d'examen en dirigeant un faisceau laser sur le défaut dans des conditions de traitement laser établies. Dans l'étape d'examen, des données spectrales spectroscopiques sur le défaut sont acquises, et sur la base des données spectrales spectroscopiques, les conditions de traitement au laser pour le faisceau laser à diriger sur le défaut sont déterminées par un réseau neuronal entraîné. Le réseau neuronal est entraîné par apprentissage machine, les données d'apprentissage étant des données réellement mesurées qui contiennent des données sur des structures multicouches, des données spectrales spectroscopiques pour chaque structure multicouche, et des données expérimentales de traitement laser pour chaque structure multicouche.
(JA) レーザ修正の自動化を可能にして、作業効率の改善を図り、オペレータのスキルに影響されること無く一定の修正品質が得られるようにする。レーザ修正方法は、多層膜基板の欠陥部に対してレーザ照射範囲を設定し、設定されたレーザ加工条件で欠陥部にレーザ光を照射して修正加工を行う修正工程を有し、修正工程は、欠陥部の分光スペクトルデータを取得して、分光スペクトルデータに基づいて、学習済みのニューラルネットワークによって欠陥部に照射するレーザ光のレーザ加工条件を設定し、ニューラルネットワークは、多層膜構造データと多層膜構造毎の分光スペクトルデータと多層膜構造毎のレーザ加工実験データを含む実測データを学習データとして、機械学習されている。
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