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1. WO2020250489 - 磁気センサ、磁気センサアレイ、磁場分布測定装置、および位置特定装置

公開番号 WO/2020/250489
公開日 17.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/006210
国際出願日 18.02.2020
IPC
G01B 7/00 2006.1
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
7電気的または磁気的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
H01L 43/08 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
43電流磁気効果またはこれに類似な磁気効果を利用した装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
08磁界制御抵抗
G01R 33/09 2006.1
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
33磁気的変量を測定する計器または装置
02磁界または磁束の方向または大きさの測定
06電流磁気装置を使用するもの
09磁気抵抗装置を使用するもの
CPC
G01B 7/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
7Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic means
G01R 33/09
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
06using galvano-magnetic devices, e.g. Hall effect devices; using magneto-resistive devices
09Magnetoresistive devices
H01L 43/08
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
43Devices using galvano-magnetic or similar magnetic effects; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof
08Magnetic-field-controlled resistors
出願人
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 久保田 将司 KUBOTA, Masashi
代理人
  • 特許業務法人深見特許事務所 FUKAMI PATENT OFFICE, P.C.
優先権情報
2019-10873011.06.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) MAGNETIC SENSOR, MAGNETIC SENSOR ARRAY, MAGNETIC FIELD DISTRIBUTION MEASUREMENT DEVICE, AND POSITION IDENTIFICATION DEVICE
(FR) CAPTEUR MAGNÉTIQUE, RÉSEAU DE CAPTEURS MAGNÉTIQUES, DISPOSITIF DE MESURE DE DISTRIBUTION DE CHAMP MAGNÉTIQUE ET DISPOSITIF D'IDENTIFICATION DE POSITION
(JA) 磁気センサ、磁気センサアレイ、磁場分布測定装置、および位置特定装置
要約
(EN) A magnetic sensor (1) is provided with: an angle sensor (10) that includes a plurality of first magnetoresistance elements (111-114, 121-124) and outputs data in accordance with an angle formed between the direction of an external magnetic field and a reference direction; and a magnetic field intensity sensor (20) that includes a plurality of second magnetoresistance elements (211-214, 221-224) and outputs data on the basis of the intensity of the external magnetic field, wherein the angle sensor (10) and the magnetic field intensity sensor (20) have the same normal direction with respect to sensor-formed reference surfaces, the magnetic field intensity sensor (20) has output characteristics that are different depending on the angle formed between the direction of the external magnetic field and the reference direction, and the intensity of the external magnetic field is determined on the basis of the output of the magnetic field intensity sensor and the angle formed between the reference direction and the direction of the external magnetic field detected by the angle sensor (10).
(FR) Capteur magnétique (1) comprenant : un capteur d'angle (10) qui comprend une pluralité de premiers éléments de magnétorésistance (111-114, 121-124) et délivre des données en fonction d'un angle formé entre la direction d'un champ magnétique externe et une direction de référence ; et un capteur d'intensité de champ magnétique (20) qui comprend une pluralité de seconds éléments de magnétorésistance (211-214, 221-224) et délivre des données sur la base de l'intensité du champ magnétique externe, le capteur d'angle (10) et le capteur d'intensité de champ magnétique (20) ont la même direction normale par rapport à des surfaces de référence formées par capteur, le capteur d'intensité de champ magnétique (20) a des caractéristiques de sortie qui sont différentes en fonction de l'angle formé entre la direction du champ magnétique externe et la direction de référence, et l'intensité du champ magnétique externe est déterminée sur la base de la sortie du capteur d'intensité de champ magnétique et de l'angle formé entre la direction de référence et la direction du champ magnétique externe détecté par le capteur d'angle (10).
(JA) 磁気センサ(1)は、複数の第1磁気抵抗素子(111~114、121~124)を含み、外部磁場の方向と基準方向との成す角度に応じて出力する角度センサ(10)と、複数の第2磁気抵抗素子(211~214、221~224)を含み、外部磁場の強度に基づいて出力する磁場強度センサ(20)と、を備え、角度センサ(10)および磁場強度センサ(20)は、互いにセンサ形成される基準面に対する法線方向が同一であり、磁場強度センサ(20)は、外部磁場の方向と基準方向との成す角度に応じて異なる出力特性を有し、角度センサ(10)によって検知された外部磁場の方向と基準方向との成す角度と磁場強度センサの出力に基づいて、外部磁場の強度が決定される。
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