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1. WO2020246438 - レーザー光源及び光電子顕微鏡

公開番号 WO/2020/246438
公開日 10.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/021660
国際出願日 01.06.2020
IPC
G02B 21/06 2006.1
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
21顕微鏡
06試料照明のための手段
G01N 23/227 2018.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
23グループG01N3/00~G01N17/00,G01N21/00またはG01N22/00に包含されない波動性または粒子性放射線,例.X線,中性子線,の使用による材料の調査または分析
22材料からの二次放射の測定によるもの
227光電効果の測定,例.光電子顕微鏡[2018.01]
H01S 3/00 2006.1
H電気
01基本的電気素子
S光を増幅または生成するために,放射の誘導放出による光増幅を用いた装置;光領域以外の電磁放射の誘導放出を用いた装置
3レーザ,すなわち赤外線,可視光または紫外線領域での電磁放射の誘導放出を用いた装置
H01S 3/10 2006.1
H電気
01基本的電気素子
S光を増幅または生成するために,放射の誘導放出による光増幅を用いた装置;光領域以外の電磁放射の誘導放出を用いた装置
3レーザ,すなわち赤外線,可視光または紫外線領域での電磁放射の誘導放出を用いた装置
10放出された放射線の強度,周波数,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲート,変調または復調
H01S 3/136 2006.1
H電気
01基本的電気素子
S光を増幅または生成するために,放射の誘導放出による光増幅を用いた装置;光領域以外の電磁放射の誘導放出を用いた装置
3レーザ,すなわち赤外線,可視光または紫外線領域での電磁放射の誘導放出を用いた装置
10放出された放射線の強度,周波数,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲート,変調または復調
13レーザ出力パラメータ,例.周波数,振幅,の安定
136共振器内に置かれた装置を制御することによるもの
G02F 1/37 2006.1
G物理学
02光学
F光の強度,色,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲーテイング,変調または復調のための装置または配置の媒体の光学的性質の変化により,光学的作用が変化する装置または配置;そのための技法または手順;周波数変換;非線形光学;光学的論理素子;光学的アナログ/デジタル変換器
1独立の光源から到達する光の強度,色,位相,偏光または方向の制御のための装置または配置,例.スィッチング,ゲーテイングまたは変調;非線形光学
35非線型光学
37二次高調波発振のためのもの
CPC
G01N 23/227
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
22by measuring secondary emission from the material
227Measuring photoelectric effect, e.g. photoelectron emission microscopy [PEEM]
G02B 21/06
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21Microscopes
06Means for illuminating specimens
G02F 1/37
GPHYSICS
02OPTICS
FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
1Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
35Non-linear optics
37for second-harmonic generation
H01S 3/00
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
H01S 3/10
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
H01S 3/136
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
13Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency, amplitude
136by controlling a device placed within the cavity
出願人
  • 国立大学法人東京大学 THE UNIVERSITY OF TOKYO [JP]/[JP]
  • 株式会社オキサイド OXIDE CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 辛 埴 SHIN Shik
  • 谷内 敏之 TANIUCHI Toshiyuki
  • 今井 信一 IMAI Shinichi
  • 藤浦 和夫 FUJIURA Kazuo
  • 古川 保典 FURUKAWA Yasunori
代理人
  • 特許業務法人ドライト国際特許事務所 DORAIT IP LAW FIRM
優先権情報
2019-10380803.06.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) LASER LIGHT SOURCE AND PHOTOELECTRON MICROSCOPE
(FR) SOURCE DE LUMIÈRE LASER ET MICROSCOPE PHOTOÉLECTRONIQUE
(JA) レーザー光源及び光電子顕微鏡
要約
(EN) Provided are a laser light source of high-energy and high-output and a photoelectron microscope using the laser light source. A laser light source 2 is for use in a photoelectron microscope that emits a quasi-continuous wave laser 7, the laser light source being provided with: a first laser light source 100 that emits quasi-continuous wave light 100a; an optical resonator 110 that has an optical path through which the quasi-continuous wave light 100a circulates and a nonlinear optical element 114 disposed on the optical path; and a quasi-continuous wave light source 120 that emits quasi-continuous wave light 120a having a wavelength shorter than that of the quasi-continuous wave light 100a and having a roughly rectangular output waveform, wherein the quasi-continuous wave laser 7 having a waveform shorter than that of the quasi-continuous wave light 120a is emitted from the nonlinear optical element 114 when the quasi-continuous wave light 120a enters the nonlinear optical element 114 from outside the optical resonator 110 in a state where the quasi-continuous wave light 100a enters the optical resonator 110 and circulates through the optical path.
(FR) L'invention concerne une source de lumière laser à haute énergie et à haut rendement et un microscope photoélectronique utilisant la source de lumière laser. Une source de lumière laser 2 est destinée à être utilisée dans un microscope photoélectronique qui émet un laser à onde quasi continue 7, la source de lumière laser étant pourvue : d'une première source de lumière laser 100 qui émet une lumière d'onde quasi continue 100a ; un résonateur optique 110 qui a un chemin optique à travers lequel circule la lumière d'onde quasi continue 100a et un élément optique non linéaire 114 disposé sur le chemin optique ; et une source de lumière d'onde quasi continue 120 qui émet une lumière d'onde quasi continue 120a ayant une longueur d'onde plus courte que celle de la lumière d'onde quasi continue 100a et ayant une forme d'onde de sortie grossièrement rectangulaire, le laser à onde quasi continue 7 ayant une forme d'onde plus courte que celle de la lumière d'onde quasi continue 120a est émise à partir de l'élément optique non linéaire 114 lorsque la lumière d'onde quasi continue 120a entre dans l'élément optique non linéaire 114 depuis l'extérieur du résonateur optique 110 dans un état où la lumière d'onde quasi continue 100a entre dans le résonateur optique 110 et circule à travers le chemin optique.
(JA) 高エネルギーで高出力のレーザー光源及び当該レーザー光源を用いた光電子顕微鏡を提供する。レーザー光源2は、準連続波レーザー7を出射する光電子顕微鏡に用いられ、連続波コヒーレント光100aを出射する第1レーザー光源100と、連続波コヒーレント光100aが循環する光路と、光路上に配置された非線形光学素子114とを有する光共振器110と、連続波コヒーレント光100aより短波長であり、出力の波形が略矩形である準連続波コヒーレント光120aを出射する準連続波光源120とを備え、連続波コヒーレント光100aが光共振器110に入射されて光路を循環している状態で、光共振器110外より準連続波コヒーレント光120aが非線形光学素子114に入射すると、非線形光学素子114から準連続波コヒーレント光120aより短波長の準連続波レーザー7が出射する。
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