(EN) Provided is a light deflector that can suppress cleavage of a radius provided at a joint of a torsion bar 12. The light deflector 10 includes a mirror section 11, a pair of torsion bars 12, an inside piezoelectric actuator 13, and a movable frame section 14. The crystal orientation in the axial direction of the torsion bar 12 is <100>. Radii 31ab, 31bb are formed at joint edges of the torsion bars 12 and the inside piezoelectric actuator 13, so as to each have a curved surface that is oriented in <110> and recessed inward. The waviness associated with a roughness curve derived from the curved surfaces is set to be within 600 nm.
(FR) L'invention concerne un déflecteur de lumière qui peut supprimer le clivage d'un rayon fourni au niveau d'une jonction d'une barre de torsion 12. Le déflecteur de lumière 10 comprend une section de miroir 11, une paire de barres de torsion 12, un actionneur piézoélectrique interne 13 et une section de cadre mobile 14. L'orientation cristalline dans la direction axiale de la barre de torsion 12 est <100>. Des rayons 31ab, 31bb sont formés au niveau de bords de jonction des barres de torsion 12 et de l'actionneur piézoélectrique interne 13, de façon à avoir chacun une surface incurvée qui est orientée en <110> et en retrait vers l'intérieur. L'ondulation associée à une courbe de rugosité dérivée des surfaces incurvées est définie comme étant dans les limites de 600 nm.
(JA) トーションバー１２の結合部に設けられたＲ部の劈開を抑制することができる光偏向器を提供する。光偏向器１０は、ミラー部１１、１対のトーションバー１２、内側圧電アクチュエータ１３及び可動枠部１４を備える。トーションバー１２の軸方向を結晶方位を＜１００＞としている。トーションバー１２と内側圧電アクチュエータ１３との結合縁部には、Ｒ部３１ａｂ，３１ｂｂが、＜１１０＞に向けられて、かつ内側にへこむ湾曲面で形成されている。該湾曲面から導出される粗さ曲線についてのうねり量は、６００ｎｍ以内にされる