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1. WO2020246245 - 光偏向器及び製造方法

公開番号 WO/2020/246245
公開日 10.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/019976
国際出願日 20.05.2020
IPC
G02B 26/10 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
26可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08光の方向を制御するためのもの
10走査系
B81B 3/00 2006.01
B処理操作;運輸
81マイクロ構造技術
Bマイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
B81C 1/00 2006.01
B処理操作;運輸
81マイクロ構造技術
Cマイクロ構造装置またはシステムの製造または処理に,特に適合した方法または装置
1基層中または基層上での装置またはシステムの製造または処理
G02B 26/08 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
26可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08光の方向を制御するためのもの
出願人
  • スタンレー電気株式会社 STANLEY ELECTRIC CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 秋山 慶太 AKIYAMA Keita
代理人
  • 特許業務法人創成国際特許事務所 SATO & ASSOCIATES
優先権情報
2019-10611106.06.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) LIGHT DEFLECTOR AND MANUFACTURING METHOD
(FR) DÉFLECTEUR DE LUMIÈRE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 光偏向器及び製造方法
要約
(EN)
Provided is a light deflector that can suppress cleavage of a radius provided at a joint of a torsion bar 12. The light deflector 10 includes a mirror section 11, a pair of torsion bars 12, an inside piezoelectric actuator 13, and a movable frame section 14. The crystal orientation in the axial direction of the torsion bar 12 is <100>. Radii 31ab, 31bb are formed at joint edges of the torsion bars 12 and the inside piezoelectric actuator 13, so as to each have a curved surface that is oriented in <110> and recessed inward. The waviness associated with a roughness curve derived from the curved surfaces is set to be within 600 nm.
(FR)
L'invention concerne un déflecteur de lumière qui peut supprimer le clivage d'un rayon fourni au niveau d'une jonction d'une barre de torsion 12. Le déflecteur de lumière 10 comprend une section de miroir 11, une paire de barres de torsion 12, un actionneur piézoélectrique interne 13 et une section de cadre mobile 14. L'orientation cristalline dans la direction axiale de la barre de torsion 12 est <100>. Des rayons 31ab, 31bb sont formés au niveau de bords de jonction des barres de torsion 12 et de l'actionneur piézoélectrique interne 13, de façon à avoir chacun une surface incurvée qui est orientée en <110> et en retrait vers l'intérieur. L'ondulation associée à une courbe de rugosité dérivée des surfaces incurvées est définie comme étant dans les limites de 600 nm.
(JA)
トーションバー12の結合部に設けられたR部の劈開を抑制することができる光偏向器を提供する。光偏向器10は、ミラー部11、1対のトーションバー12、内側圧電アクチュエータ13及び可動枠部14を備える。トーションバー12の軸方向を結晶方位を<100>としている。トーションバー12と内側圧電アクチュエータ13との結合縁部には、R部31ab,31bbが、<110>に向けられて、かつ内側にへこむ湾曲面で形成されている。該湾曲面から導出される粗さ曲線についてのうねり量は、600nm以内にされる
他の公開
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