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1. WO2020246047 - レンズ形状測定装置、レンズ形状測定方法、レンズ光学特性測定装置、プログラム、及び、記録媒体

公開番号 WO/2020/246047
公開日 10.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/029274
国際出願日 25.07.2019
IPC
G01B 11/24 2006.1
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
24輪郭または曲率の測定用
G01B 11/255 2006.1
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
24輪郭または曲率の測定用
255曲率半径測定用
G01M 11/00 2006.1
G物理学
01測定;試験
M機械または構造物の静的または動的つり合い試験;他に分類されない構造物または装置の試験
11光学装置の試験;他に分類されない光学的方法による構造物の試験
CPC
G01B 11/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
G01B 11/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness ; ; e.g. of sheet material
G01B 11/24
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
G01B 11/255
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
255for measuring radius of curvature
G01M 11/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
G01M 11/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
02Testing optical properties
出願人
  • 株式会社レクザム REXXAM CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 小出 珠貴 KOIDE Tamaki
代理人
  • 辻丸 光一郎 TSUJIMARU Koichiro
  • 中山 ゆみ NAKAYAMA Yumi
  • 伊佐治 創 ISAJI Hajime
優先権情報
2019-10489904.06.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) LENS SHAPE MEASUREMENT DEVICE, LENS SHAPE MEASUREMENT METHOD, LENS OPTICAL PROPERTY MEASUREMENT DEVICE, PROGRAM, AND RECORDING MEDIUM
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE FORME DE LENTILLE, PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME DE LENTILLE, DISPOSITIF DE MESURE DE PROPRIÉTÉ OPTIQUE DE LENTILLE, PROGRAMME ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT
(JA) レンズ形状測定装置、レンズ形状測定方法、レンズ光学特性測定装置、プログラム、及び、記録媒体
要約
(EN) Provided is a lens shape measurement device that can measure the surface shape and the thickness of a lens with high accuracy. In a lens shape measurement device (1) according to the present invention: a lens position movement unit (16) moves a lens in an X-axis direction, so that a line laser irradiation unit (7a) irradiates a lens surface with a line laser parallel to the Y-axis direction in a state of being scanned in the X-axis direction; a line laser reception unit (7b) receives reflected light of the line laser with which the lens is irradiated; a measurement calculation unit (13) calculates surface image data on the lens from the reflected light received by the line laser reception unit (7b); the lens position movement unit (16) moves the lens in a Z-axis direction; a lens surface position detection unit (22) detects a lens surface position in the Z-axis direction; a lens reverse-surface position detection unit (23) detects a lens reverse-surface position in the Z-axis direction; and the measurement calculation unit (13) calculates thickness information on the lens on the basis of the lens surface position in the Z-axis direction, the lens reverse-surface position in the Z-axis direction, and a lens movement distance in the Z-axis direction.
(FR) L'invention concerne un dispositif de mesure de forme de lentille pouvant mesurer la forme de surface et l'épaisseur d'une lentille avec une précision élevée. Dans un dispositif de mesure de forme de lentille (1) selon la présente invention : une unité de déplacement de position de lentille (16) déplace une lentille dans une direction d'axe X, de telle sorte qu'une unité d'exposition à un rayonnement laser en ligne (7a) expose une surface de lentille à un rayonnement laser en ligne parallèle à la direction d'axe Y en cours de balayage dans la direction de l'axe X ; une unité de réception de laser en ligne (7b) reçoit la lumière réfléchie du laser en ligne au rayonnement duquel la lentille est exposée ; une unité de calcul de mesure (13) calcule des données d'image de surface sur la lentille à partir de la lumière réfléchie reçue par l'unité de réception de laser en ligne (7b) ; l'unité de déplacement de position de lentille (16) déplace la lentille dans une direction d'axe Z ; une unité de détection de position de surface de lentille (22) détecte une position de surface de lentille dans la direction d'axe Z ; une unité de détection de position de surface inverse de lentille (23) détecte une position de surface inverse de lentille dans la direction d'axe Z ; et l'unité de calcul de mesure (13) calcule des informations d'épaisseur sur la lentille en fonction de la position de surface de lentille dans la direction d'axe Z, de la position de surface inverse de lentille dans la direction d'axe Z, et d'une distance de déplacement de lentille dans la direction d'axe Z.
(JA) レンズの表面形状及び厚みを高精度で測定可能なレンズ形状測定装置を提供する。 本発明のレンズ形状測定装置(1)は、レンズ位置移動部(16)がレンズをX軸方向に移動することにより、ラインレーザ照射部(7a)が、Y軸方向に平行なラインレーザをX軸方向に走査した状態でレンズ表面に照射し、ラインレーザ受光部(7b)は、レンズに照射された前記ラインレーザ―の反射光を受光し、測定演算部(13)は、ラインレーザ受光部(7b)が受光した反射光から前記レンズの表面画像データを算出し、レンズ位置移動部(16)により、レンズをZ軸方向に移動させて、レンズ表面位置検出部(22)により、Z軸方向のレンズ表面位置を検出し、かつ、レンズ裏面位置検出部(23)により、Z軸方向の前記レンズ裏面位置を検出し、測定演算部(13)は、Z軸方向のレンズ表面位置、Z軸方向のレンズ裏面位置及びZ軸方向のレンズ移動距離からレンズの厚み情報を算出する、レンズ形状測定装置である。
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