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1. WO2020245962 - 走査電子顕微鏡

公開番号 WO/2020/245962
公開日 10.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/022452
国際出願日 06.06.2019
IPC
G01N 23/2251 2018.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
23グループG01N3/00~G01N17/00,G01N21/00またはG01N22/00に包含されない波動性または粒子性放射線,例.X線,中性子線,の使用による材料の調査または分析
22材料からの二次放射の測定によるもの
225電子またはイオンマイクロプローブを用いるもの
2251電子ビームを入射するもの,例.走査型電子顕微鏡[2018.01]
H01J 37/22 2006.1
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
22管と関連した光学または写真装置
H01J 37/244 2006.1
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
244検出器;関連の構成要素またはそのための回路
CPC
G01N 23/2251
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
22by measuring secondary emission from the material
225using electron or ion
2251using incident electron beams, e.g. scanning electron microscopy [SEM]
H01J 37/22
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
22Optical or photographic arrangements associated with the tube
H01J 37/244
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
244Detectors; Associated components or circuits therefor
出願人
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 孝橋 照生 KOHASHI Teruo
  • 森下 英郎 MORISHITA Hideo
  • 片根 純一 KATANE Junichi
代理人
  • 青稜特許業務法人 SEIRYO I.P.C.
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
(JA) 走査電子顕微鏡
要約
(EN) This scanning electron microscope is provided with a spin detector (103) which measures secondary electron spin polarization of secondary electrons (108) emitted from a sample (101), and an analysis device (100) which analyzes secondary electron spin polarization data measured by the spin detector, wherein the analysis device evaluates strain in the sample by calculating the difference in secondary electron spin polarization data of adjacent pixels.
(FR) L'invention concerne un microscope électronique à balayage qui est pourvu d'un détecteur de spin (103) qui mesure une polarisation de spin d'électron secondaire pour des électrons secondaires (108) émis à partir d'un échantillon (101), et d'un dispositif d'analyse (100) qui analyse des données de polarisation de spin d'électron secondaire mesurées par le détecteur de spin, le dispositif d'analyse évaluant un effort dans l'échantillon en calculant la différence dans des données de polarisation de spin d'électron secondaire de pixels adjacents.
(JA) 試料(101)から放出された2次電子(108)の2次電子スピン偏極度を測定するスピン検出器(103)と、スピン検出器で測定された2次電子スピン偏極度データを解析する解析装置(100)とを有し、解析装置は、隣接画素の2次電子スピン偏極度データの差を演算することにより試料における歪を評価する。
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