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1. WO2020241820 - 配線電極

公開番号 WO/2020/241820
公開日 03.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/021307
国際出願日 29.05.2020
IPC
H03H 9/145 2006.1
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
02細部
125駆動手段,例.電極,コイル
145弾性表面波を用いる回路網のためのもの
CPC
H03H 9/145
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
125Driving means, e.g. electrodes, coils
145for networks using surface acoustic waves
出願人
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 豊田 祐二 TOYOTA, Yuji
代理人
  • 特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所 MIYAZAKI & METSUGI
優先権情報
2019-10085330.05.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) WIRING ELECTRODE
(FR) ÉLECTRODE DE CÂBLAGE
(JA) 配線電極
要約
(EN) Provided is a wiring electrode capable of suppressing alloying between metal layers, and capable of enhancing reliability. The wiring electrode 1 according to the present invention, which is a wiring electrode provided on a piezoelectric substrate 12 (substrate) and formed by a plurality of layers being laminated, is provided with: an adhesive layer 2 that is in contact with the piezoelectric substrate 12; an outermost surface layer 5 that is provided indirectly on the adhesive layer 2; a low resistance layer 3 that is provided between the adhesive layer 2 and the outermost surface layer 5, that has a first main surface 3c positioned on the adhesive layer 2 side and a second main surface 3d facing the first main surface 3c, and that has the lowest electrical resistance among a plurality of layers; and a barrier layer 4 that is provided between the low resistance layer 3 and the outermost surface layer 5. In plan view, the outer peripheral edge of the second main surface 3d of the low resistance layer 3 is positioned further inward than an outer peripheral edge 4a of the barrier layer 4, and an outer peripheral edge 2a of the adhesive layer 2 is positioned further outward than an outer peripheral edge 3a of the low resistance layer 3.
(FR) L'invention concerne une électrode de câblage capable de supprimer l'alliage entre des couches métalliques, et capable d'améliorer la fiabilité. L'électrode de câblage 1 selon la présente invention, qui est une électrode de câblage disposée sur un substrat piézoélectrique 12 (substrat) et formée par une pluralité de couches stratifiées, est pourvue : d'une couche adhésive 2 qui est en contact avec le substrat piézoélectrique 12 ; d'une couche de surface la plus à l'extérieur 5 qui est disposée indirectement sur la couche adhésive 2 ; d'une couche de faible résistance 3 qui est disposée entre la couche adhésive 2 et la couche de surface la plus à l'extérieur 5, qui a une première surface principale 3c positionnée sur le côté de la couche adhésive 2 et une seconde surface principale 3d en regard de la première surface principale 3c, et qui a la résistance électrique la plus faible parmi une pluralité de couches ; et une couche barrière 4 qui est disposée entre la couche de faible résistance 3 et la couche de surface la plus à l'extérieur 5. Dans une vue en plan, le bord périphérique externe de la seconde surface principale 3d de la couche de faible résistance 3 est positionné davantage vers l'intérieur qu'un bord périphérique externe 4a de la couche barrière 4, et un bord périphérique externe 2a de la couche adhésive 2 est positionné davantage vers l'extérieur qu'un bord périphérique externe 3a de la couche de faible résistance 3.
(JA) 金属層間の合金化を抑制することができ、かつ信頼性を高めることができる、配線電極を提供する。 本発明の配線電極1は、圧電性基板12(基板)上に設けられており、複数の層が積層されてなる配線電極であって、圧電性基板12と接している接着層2と、接着層2上に間接的に設けられている最表層5と、接着層2と最表層5との間に設けられており、接着層2側に位置する第1の主面3cと、第1の主面3cに対向している第2の主面3dとを有し、複数の層のうち最も電気抵抗が低い低抵抗層3と、低抵抗層3と最表層5との間に設けられているバリア層4とを備える。平面視において、低抵抗層3の第2の主面3dの外周縁がバリア層4の外周縁4aよりも内側に位置し、かつ接着層2の外周縁2aが低抵抗層3の外周縁3aよりも外側に位置する。
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