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1. WO2020241598 - スペクトル決定装置、スペクトル決定方法、スペクトル決定プログラム、照明システム、照明装置及び検査装置

公開番号 WO/2020/241598
公開日 03.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/020621
国際出願日 25.05.2020
IPC
G01N 21/84 2006.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
G01N 21/88 2006.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
88きず,欠陥,または汚れの存在の調査
CPC
G01N 21/84
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
G01N 21/88
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
出願人
  • 京セラ株式会社 KYOCERA CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 丹羽 恒治 NIWA Koji
  • 草野 民男 KUSANO Tamio
代理人
  • 杉村 憲司 SUGIMURA Kenji
優先権情報
2019-09972328.05.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SPECTRUM DETERMINATION DEVICE, SPECTRUM DETERMINATION METHOD, SPECTRUM DETERMINATION PROGRAM, ILLUMINATION SYSTEM, ILLUMINATION DEVICE, AND INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE DÉTERMINATION DE SPECTRE, PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE SPECTRE, PROGRAMME DE DÉTERMINATION DE SPECTRE, SYSTÈME D'ÉCLAIRAGE, DISPOSITIF D'ÉCLAIRAGE ET DISPOSITIF D'INSPECTION
(JA) スペクトル決定装置、スペクトル決定方法、スペクトル決定プログラム、照明システム、照明装置及び検査装置
要約
(EN) This spectrum determination device: acquires a captured image of a sampling subject part that includes a first region in which a first exterior abnormality included in a prescribed classification is positioned, as well as a second region, and also acquires spectrum information pertaining to sampling light with which the sampling subject part is irradiated in order to capture the captured image; calculates an evaluation index based on a brightness difference and/or a color difference between a portion of the captured image in which the first region is captured and a portion of the captured image in which the second region is captured; and determines, on the basis of the evaluation index and the spectrum information pertaining to the sampling light, the spectrum of inspection light with which an inspection subject part is irradiated in order to detect whether the inspection subject part includes a second exterior abnormality included in the prescribed classification.
(FR) Dispositif de détermination de spectre : qui acquiert une image capturée d'une pièce faisant l'objet d'un échantillonnage et qui comprend une première région dans laquelle une première anomalie extérieure relevant d'une classification prédéterminée est située, ainsi qu'une seconde région, et qui acquiert également des informations de spectre concernant la lumière d'échantillonnage à laquelle la pièce faisant l'objet de l'échantillonnage est exposée afin de capturer l'image capturée ; qui calcule un indice d'évaluation sur la base d'une différence de luminosité et/ou d'une différence de couleur entre une partie de l'image capturée dans laquelle la première région est capturée et une partie de l'image capturée dans laquelle la seconde région est capturée ; et qui détermine, sur la base de l'indice d'évaluation et des informations de spectre relatives à la lumière d'échantillonnage, le spectre de la lumière d'inspection à laquelle une pièce faisant l'objet de l'inspection est exposée afin de détecter si la pièce faisant l'objet de l'inspection comprend une seconde anomalie extérieure relevant de la classification prédéterminée.
(JA) スペクトル決定装置は、所定の分類に含まれる第1外観異常が位置する第1領域と、第2領域とを含むサンプリング対象部の撮像画像と、撮像画像を撮像するためにサンプリング対象部を照らしているサンプリング光のスペクトル情報とを取得し、撮像画像における、第1領域を撮像した部分と第2領域を撮像した部分との間の、明度差及び色度差のうち少なくとも一方に基づく評価指標を算出し、検査対象部が所定の分類に含まれる第2外観異常を含んでいるか検出するために検査対象部を照らす検査光のスペクトルを、評価指標とサンプリング光のスペクトル情報とに基づいて決定する。
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JP2021522763This application is not viewable in PATENTSCOPE because the national phase entry has not been published yet or the national entry is issued from a country that does not share data with WIPO or there is a formatting issue or an unavailability of the application.
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