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1. WO2020241584 - 光干渉測定装置および光干渉測定方法

公開番号 WO/2020/241584
公開日 03.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/020586
国際出願日 25.05.2020
IPC
G01B 9/02 2006.1
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
9このサブグループに記述され,かつ光学的測定手段の使用によって特徴づけられた計器
02干渉計
G01N 21/17 2006.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
17調査される材料の特性に応じて入射光が変調されるシステム
CPC
G01B 9/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
G01N 21/17
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
出願人
  • 株式会社トプコン TOPCON CORPORATION [JP]/[JP]
  • 国立研究開発法人理化学研究所 RIKEN [JP]/[JP]
発明者
  • 椴山 誉 MOMIYAMA Homare
  • 佐々木 芳彰 SASAKI Yoshiaki
  • 吉峯 功 YOSHIMINE Isao
  • 大谷 知行 OTANI Chiko
  • 湯浅 哲也 YUASA Tetsuya
代理人
  • 八木 秀人 YAGI Hidehito
  • 丹波 真也 TANBA Shinya
  • 太田 悠 OTA Yu
  • 川野 由希 KAWANO Yuki
  • 簾内 里子 SUNOUCHI Satoko
優先権情報
2019-10082830.05.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) OPTICAL INTERFEROMETER AND OPTICAL INTERFEROMETRY METHOD
(FR) INTERFÉROMÈTRE OPTIQUE ET PROCÉDÉ D'INTERFÉROMÉTRIE OPTIQUE
(JA) 光干渉測定装置および光干渉測定方法
要約
(EN) This optical interferometer reduces noise in interferograms in optical interferometry. This optical interferometer (1) is characterized by being provided with a measurement unit (2) which irradiates a measurement target and a reference surface with electromagnetic waves and creates interference between the reflected waves from the reflective surface of the measurement target and reflected waves from the reference surface to acquire a reference wave interferogram, and a signal processing unit which configures a depth-direction intensity profile by means of a Fourier transform of the interferogram, wherein the signal processing unit (8) is provided with a first noise removal unit (301) which, having a region based on a measurement target configured position as the pass region, performs filtering by removing data in the region outside of the pass region from the intensity profile and reconfigures the filtered intensity profile into an interferogram by means of reverse Fourier transformation.
(FR) L'invention concerne un interféromètre optique qui réduit le bruit dans des interférogrammes en interférométrie optique. Ledit interféromètre optique (1) est caractérisé en ce qu'il comprend une unité de mesure (2) qui irradie une cible de mesure et une surface de référence avec des ondes électromagnétiques et crée une interférence entre les ondes réfléchies depuis la surface réfléchissante de la cible de mesure et les ondes réfléchies depuis la surface de référence afin d'acquérir un interférogramme d'onde de référence, et une unité de traitement de signal qui configure un profil d'intensité de direction de profondeur au moyen d'une transformée de Fourier de l'interférogramme, l'unité de traitement de signal (8) comprenant une première unité d'élimination de bruit (301) qui, ayant une région fondée sur une position configurée de cible de mesure en tant que région de passage, effectue un filtrage par l'élimination de données dans la région à l'extérieur de la région de passage du profil d'intensité et reconfigure le profil d'intensité filtré dans un interférogramme au moyen d'une transformation de Fourier inverse.
(JA) 光干渉測定におけるインターフェログラムのノイズを低減する。光干渉測定装置(1)は、電磁波を測定対象物および参照面に照射し、測定対象物の反射面からの反射波と、前記参照面からの反射波とを干渉させて干渉波のインターフェログラムを取得する測定部(2)と、インターフェログラムをフーリエ変換することにより、深さ方向の強度プロファイルを構成する信号処理部(8)とを備え、信号処理部(8)は、強度プロファイルから、測定対象物設置位置を基準とする領域をパス領域として、パス領域以外の領域のデータを削除することによりフィルタリングし、フィルタリング後の強度プロファイルを逆フーリエ変換により、インターフェログラムに再構成する第1のノイズ除去部(301)を備えることを特徴とする。
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