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1. WO2020241522 - 真空ポンプ及び該真空ポンプに備えられた保護部

公開番号 WO/2020/241522
公開日 03.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/020401
国際出願日 22.05.2020
IPC
F04D 19/04 2006.01
F機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
D非容積形ポンプ
19特に圧縮性流体のための軸流ポンプ
02多段ポンプ
04高真空をつくるために特に採用されるもの,例.分子ポンプ
出願人
  • エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP]/[JP]
発明者
  • 榎本 良弘 ENOMOTO Yoshihiro
  • 樺澤 剛志 KABASAWA Takashi
優先権情報
2019-10178530.05.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) VACUUM PUMP AND PROTECTION MEMBER PROVIDED IN VACUUM PUMP
(FR) POMPE À VIDE ET ÉLÉMENT DE PROTECTION DISPOSÉ DANS LA POMPE À VIDE
(JA) 真空ポンプ及び該真空ポンプに備えられた保護部
要約
(EN)
Provided are: a vacuum pump in which sparking is eliminated in the event of contact between a rotating component and a fixed component, making it possible to prevent an explosive reaction in a vacuum container; and a protecting member provided in the vacuum pump . Non-metal protecting members (1a to 1e) are formed circumferentially on the heads of screw threads (131a to 131e) of a threaded spacer (131) disposed in a gas flow path with a narrow gap therebetween. Similarly, a protecting member (1x) is circumferentially formed on an inner peripheral surface side of a fixed blade spacer (125x) opposing a tip-end of a rotating blade (102x) having a narrow gas flow path gap. The protecting members are formed of a non-metal having a sufficient thickness to prevent metal materials of base material from coming into contacting with each other in the event of the rotating blade (102) and a stationary portion making contact. When the rotating blade (102) and the stationary portion came into contact, the protecting members make contact earlier and are ground, preventing the metals of the base material from being exposed and making contact. In addition, the protecting members have a certain hardness such that, together with an object repelling function, the metals of the base material are more effectively prevented from being exposed and making contact.
(FR)
L'invention concerne : une pompe à vide dans laquelle une étincelle est éliminée en cas de contact entre un composant rotatif et un composant fixe, permettant d'empêcher une réaction explosive dans un récipient sous vide ; et un élément de protection disposé dans la pompe à vide. Des éléments de protection non métalliques (1a à 1e) sont formés de manière circonférentielle sur les têtes de filets de vis (131a à 131e) d'un élément d'espacement fileté (131) disposé dans un trajet d'écoulement de gaz avec un espace étroit entre eux. De même, un élément de protection (1x) est formé de manière circonférentielle sur un côté surface périphérique interne d'un élément d'espacement de lame fixe (125x) opposé à une extrémité pointe d'une lame rotative (102x) ayant un espace de trajet d'écoulement de gaz étroit. Les éléments de protection sont formés d'un non-métal ayant une épaisseur suffisante pour empêcher des matériaux métalliques de matériau de base d'entrer en contact l'un avec l'autre dans le cas d'un contact entre la lame rotative (102) et une partie fixe. Lorsque la lame rotative (102) et la partie fixe viennent en contact, les éléments de protection viennent en contact plus tôt et sont broyés, empêchant les métaux du matériau de base d'être exposés et de venir en contact. De plus, les éléments de protection ont une certaine dureté de telle sorte que, conjointement avec une fonction de répulsion d'objet, l'exposition et le contact entre les métaux du matériau de base soient plus efficacement empêchés.
(JA)
回転部品と固定部品が接触した際にも火花が発生しなくなり、真空容器内での爆発的反応を防止できる真空ポンプ及び該真空ポンプに備えられた保護部を提供する。 ガス流路の狭い隙間を隔てたネジ付きスペーサ(131)のネジ山(131a~131e)の頭部側に、非金属製の保護部(1a~1e)を周状に形成する。同様にガス流路の隙間の狭い回転翼(102x)の先端に対向する固定翼スペーサ(125x)の内周面側にも保護部(1x)を周状に形成する。保護部は、回転翼(102)と静止部が接触した際にも、母材の金属材料同士が接触しないために必要十分な厚みの非金属で形成する。回転翼(102)と静止部間が接触したときに、保護部が先に接触し削れることで 母材の金属同士が露出して接触するのを避けられる。保護部は一定の硬度も有しているので、物体をはじく作用も相まって、一層効果的に母材の金属同士が露出して接触するのを避けられる。
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