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1. WO2020241227 - 酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット

公開番号 WO/2020/241227
公開日 03.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/018873
国際出願日 11.05.2020
IPC
C04B 35/01 2006.1
C化学;冶金
04セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
01酸化物を基とするもの
C04B 35/453 2006.1
C化学;冶金
04セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
01酸化物を基とするもの
453酸化亜鉛,酸化スズまたは酸化ビスマスまたはそれらと他の酸化物,例.亜鉛酸塩,スズ酸塩またはビスマス酸塩,の固溶体を基とするもの
C23C 14/34 2006.1
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22被覆の方法に特徴のあるもの
34スパッタリング
CPC
C04B 35/01
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
35Shaped ceramic products characterised by their composition
01based on oxide ceramics
C04B 35/453
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
35Shaped ceramic products characterised by their composition
01based on oxide ceramics
453based on zinc, tin, or bismuth oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. zincates, stannates or bismuthates
C23C 14/34
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
34Sputtering
出願人
  • 株式会社コベルコ科研 KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC. [JP]/[JP]
発明者
  • 宮田 浩一 MIYATA Koichi
  • 篠田 達昭 SHINODA Tatsuaki
  • 田尾 幸樹 TAO Yuki
代理人
  • 天野 一規 AMANO Kazunori
優先権情報
2019-10132930.05.2019JP
2020-04834418.03.2020JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET
(FR) CORPS FRITTÉ À BASE D'OXYDE ET CIBLE DE PULVÉRISATION
(JA) 酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット
要約
(EN) The present invention addresses the problem of providing an oxide sintered body which can be prevented from the occurrence of cracking. The oxide sintered body according to one embodiment of the present invention is an oxide sintered body containing In, Zn and Fe, does not contain zinc oxide crystal grains substantially, and contains In oxide crystal grains and ZnIn oxide crystal grains, wherein each of the In oxide crystal grains has an In2O3 crystal single-phase structure that does not contain Fe substantially, and each of the ZnIn oxide crystal grains contains Fe.
(FR) La présente invention aborde le problème de la fourniture d'un corps fritté à base d'oxyde dans lequel l'apparition de fissures peut être évitée. Le corps fritté à base d'oxyde selon un mode de réalisation de la présente invention est un corps fritté à base d'oxyde contenant de l'In, du Zn et du Fe, qui ne contient essentiellement pas de grains cristallins d'oxyde de zinc, mais qui contient des grains cristallins d'oxyde de In et des grains cristallins d'oxyde de ZnIn, chacun des grains cristallins d'oxyde de In présentant une structure cristalline à phase unique de In2O3 qui ne contient essentiellement pas de Fe, tandis que chacun des grains cristallins d'oxyde de ZnIn contient du Fe.
(JA) 本発明は、割れの発生を抑制可能な酸化物焼結体の提供を課題とする。 本発明の一態様に係る酸化物焼結体は、In、Zn及びFeを含む酸化物焼結体であって、酸化亜鉛の結晶粒を実質的に有さず、In酸化物の結晶粒とZnIn酸化物の結晶粒とを有し、上記In酸化物の結晶粒がFeを実質的に含まないIn結晶単相構造であり、上記ZnIn酸化物の結晶粒がFeを含む。
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