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1. WO2020241153 - 走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法

公開番号 WO/2020/241153
公開日 03.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/018008
国際出願日 27.04.2020
IPC
G02B 26/08 2006.1
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
26可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08光の方向を制御するためのもの
B81B 3/00 2006.1
B処理操作;運輸
81マイクロ構造技術
Bマイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
B81C 1/00 2006.1
B処理操作;運輸
81マイクロ構造技術
Cマイクロ構造装置またはシステムの製造または処理に,特に適合した方法または装置
1基層中または基層上での装置またはシステムの製造または処理
G02B 26/10 2006.1
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
26可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08光の方向を制御するためのもの
10走査系
CPC
B81B 3/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
B81C 1/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
G02B 26/08
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
G02B 26/10
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
10Scanning systems
出願人
  • 国立大学法人東北大学 TOHOKU UNIVERSITY [JP]/[JP]
発明者
  • 羽根 一博 HANE Kazuhiro
  • 佐々木 敬 SASAKI Takashi
  • 藤田 裕樹 FUJITA Yuki
代理人
  • 楠 修二 KUSUNOKI Shuji
優先権情報
2019-09815825.05.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SCANNING MIRROR AND PRODUCTION METHOD FOR SCANNING MIRROR
(FR) MIROIR DE BALAYAGE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DU MIROIR DE BALAYAGE
(JA) 走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法
要約
(EN) [Problem] To provide: a scanning mirror that can prevent the oxidation or hydroxylation of a torsion bar and suppress deterioration of the torsion bar caused thereby; and a production method for the scanning mirror. [Solution] A scanning mirror in which a torsion bar 25 is provided so as to support a mirror part 24 and has an ALD layer 27 covering the surface thereof. The scanning mirror is configured such that the mirror part 24 can be rotated around an axis that runs along the torsion bar 25 by applying torsional force to the torsion bar 25. The scanning mirror is produced by forming the mirror part 24 and the torsion bar 25 and then using atomic layer deposition to form an ALD layer 27 on at least the surface of the torsion bar 25.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de fournir : un miroir de balayage qui peut empêcher l'oxydation ou l'hydroxylation d'une barre de torsion et supprimer la détérioration de la barre de torsion provoquée par celles-ci ; et un procédé de production du miroir de balayage. La solution selon l'invention porte sur un miroir de balayage dans lequel une barre de torsion 25 est disposée de façon à supporter une partie miroir 24 et a une couche ALD 27 recouvrant la surface de celle-ci. Le miroir de balayage est configuré de telle sorte que la partie miroir 24 peut être tournée autour d'un axe qui s'étend le long de la barre de torsion 25 en appliquant une force de torsion à la barre de torsion 25. Le miroir de balayage est produit en formant la partie miroir 24 et la barre de torsion 25 puis en utilisant un dépôt de couche atomique pour former une couche ALD 27 sur au moins la surface de la barre de torsion 25.
(JA) 【課題】トーションバーの酸化や水酸化を防ぐことができ、それによるトーションバーの劣化を抑えることができる走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法を提供する。 【解決手段】走査ミラーは、トーションバー25が、ミラー部24を支持するよう設けられ、表面がALD層27で覆われている。走査ミラーは、トーションバー25に捩れ力を与えることにより、トーションバー25に沿った軸を中心としてミラー部24を回動可能に構成されている。走査ミラーは、ミラー部24とトーションバー25とを形成した後、少なくともトーションバー25の表面に、原子層堆積法によりALD層27を形成することにより製造される。
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