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1. WO2020240719 - 荷電粒子線装置

公開番号 WO/2020/240719
公開日 03.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/021175
国際出願日 29.05.2019
IPC
H01J 37/24 2006.1
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
24管の特定用途に使用されず,かつ他のどの分類にも属しない回路装置
H01J 37/22 2006.1
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
22管と関連した光学または写真装置
CPC
H01J 37/22
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
22Optical or photographic arrangements associated with the tube
H01J 37/24
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
24Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
出願人
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 伊藤 峻大郎 ITO Shuntaro
  • 三瀬 大海 MISE Hiromi
代理人
  • 特許業務法人平木国際特許事務所 HIRAKI & ASSOCIATES
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
要約
(EN) This charged particle beam device is equipped with: a charged particle beam device main body; a computer which is configured to control the charged particle beam device main body, includes a CPU and a DRAM, and is equipped with software for controlling the charged particle beam device main body; a monitoring unit which monitors the use state of resources in the computer; a reservability determination unit which determines, in accordance with a monitoring result from the monitoring unit, whether or not resources for executing processing required by the software can be reserved in the computer; and a notification unit which, when the determination result from the reservability determination unit is negative, provides notification of information indicating the determination result.
(FR) Dispositif à faisceau de particules chargées comprenant : un corps principal de dispositif à faisceau de particules chargées ; un ordinateur conçu pour commander le corps principal de dispositif à faisceau de particules chargées, muni d'une CPU et d'une DRAM, et équipé d'un logiciel permettant de commander le corps principal de dispositif à faisceau de particules chargées ; une unité de surveillance qui surveille l'état d'utilisation de ressources dans l'ordinateur ; une unité de détermination de capacité de réservation qui détermine, en fonction d'un résultat de surveillance de l'unité de surveillance, si des ressources permettant d'exécuter un traitement requis par le logiciel peuvent être réservées dans l'ordinateur ; et une unité de notification qui, lorsque le résultat de détermination de l'unité de détermination de capacité de réservation est négatif, fournit une notification d'informations indiquant le résultat de détermination.
(JA) この荷電粒子線装置は、荷電粒子線装置本体と、前記荷電粒子線装置本体を制御するよう構成され、CPU及びDRAMを含むと共に、前記荷電粒子線装置本体を制御するためのソフトウェアを備えるコンピュータと、前記コンピュータにおけるリソースの使用状況を監視する監視部と、前記ソフトウェアが必要とする処理を実行するためのリソースが前記コンピュータにおいて確保可能か否かを、前記監視部の監視の結果に従い判定する確保可否判別部と、前記確保可否判別部の判定が否定的である場合に、その旨の情報を通知する通知部とを備える。
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