処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

出願の表示

1. WO2020240707 - 光電子デバイス製造支援装置

公開番号 WO/2020/240707
公開日 03.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/021140
国際出願日 28.05.2019
IPC
H01L 21/66 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
CPC
H01L 27/14683
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
27Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
14including semiconductor components sensitive to infra-red radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
144Devices controlled by radiation
146Imager structures
14683Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
H02S 50/00
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
SGENERATION OF ELECTRIC POWER BY CONVERSION OF INFRA-RED RADIATION, VISIBLE LIGHT OR ULTRAVIOLET LIGHT, e.g. USING PHOTOVOLTAIC [PV] MODULES
50Monitoring or testing of PV systems, e.g. load balancing or fault identification
Y02E 10/50
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
10Energy generation through renewable energy sources
50Photovoltaic [PV] energy
出願人
  • 日本電信電話株式会社 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 布谷 伸浩 NUNOYA Nobuhiro
  • 尾崎 常祐 OZAKI Josuke
代理人
  • 特許業務法人 谷・阿部特許事務所 TANI & ABE, P.C.
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PHOTOELECTRONIC DEVICE PRODUCTION SUPPORT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SUPPORT DE PRODUCTION DE DISPOSITIF PHOTOÉLECTRONIQUE
(JA) 光電子デバイス製造支援装置
要約
(EN) To provide a production support device which makes it possible to inexpensively produce a photoelectronic device which exhibits improved properties at a favorable yield rate. The results from a defect inspection, which is executed during a step producing a defect which will be a factor resulting in verification as defective during a different step which is a device production polishing step, are outputted from an inspection device (11) to a server (12) which functions as a production support device. Defect inspection results acquisition units (12a1)-(12a3) of the server (12) acquire inspection results for each step and a database (12b) thereof manages the inspection results for each step. A data processing control unit (12c) of the server (12) compares information about a defect included in the inspection results obtained in each step and comparison information which expresses the inspection results for a normal state, and determines whether the information pertains to the same defect. Upon determining that the information pertains to the same defect or to a change in the state of the defect, the inspection results data therefrom are provided as history data for a subsequent device inspection. The inspection device (11) and the server (12) constitute a production support system (10).
(FR) L'objectif de la présente invention est de fournir un dispositif de support de production qui permet de produire de manière peu coûteuse un dispositif photoélectronique qui présente des propriétés améliorées à un taux de rendement favorable. Les résultats d'une inspection de défaut, qui est exécutée au cours d'une étape produisant un défaut qui sera un facteur résultant dans la vérification comme défectueux pendant une étape différente qui est une étape de polissage de production de dispositif, sont délivrés par un dispositif d'inspection (11) à un serveur (12) qui fonctionne comme un dispositif de support de production. Des unités d'acquisition de résultats d'inspection de défaut (12a1)-(12a3) du serveur (12) acquièrent des résultats d'inspection pour chaque étape et une base de données (12b) de celles-ci gère les résultats d'inspection pour chaque étape. Une unité de commande de traitement de données (12c) du serveur (12) compare des informations concernant un défaut compris dans les résultats d'inspection obtenus à chaque étape et des informations de comparaison qui expriment les résultats d'inspection pour un état normal, et détermine si les informations se rapportent au même défaut. Lorsque l'on détermine que les informations se rapportent au même défaut ou à un changement de l'état du défaut, les données de résultats d'inspection provenant de celles-ci sont fournies en tant que données d'historique pour une inspection de dispositif ultérieure. Le dispositif d'inspection (11) et le serveur (12) constituent un système de support de production (10).
(JA) 低コストで歩留まり良く特性改善された光電子デバイスを製造できる製造支援装置を提供する。製造支援装置となるサーバ(12)には、検査装置(11)からデバイス製造の基礎工程で不良品の認定要因となる欠陥の発生に係る異なる工程で欠陥検査を実行した結果が出力される。サーバ(12)では、欠陥検査結果取得部(12a1)~(12a3)が検査結果を工程別に取得し、データベース(12b)が検査結果を工程別に保管する。サーバ(12)のデータ処理制御部(12c)は、各工程で取得された検査結果に含まれる欠陥の情報と正常状態の検査結果を示す比較情報とをそれぞれ比較し、同一の欠陥を示すか否かを判定する。判定の結果、同一の欠陥又は欠陥の状態変化を示す場合、そのときの検査結果データを後続するデバイス検査用に履歴データとして提供する。検査装置(11)及びサーバ(12)が製造支援システム(10)を成す。
Related patent documents
JP2021521631This application is not viewable in PATENTSCOPE because the national phase entry has not been published yet or the national entry is issued from a country that does not share data with WIPO or there is a formatting issue or an unavailability of the application.
国際事務局に記録されている最新の書誌情報