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1. WO2020240665 - 誘電率測定装置、誘電率測定システム、プラズマパラメータ測定装置及びプラズマパラメータ測定システム

公開番号 WO/2020/240665
公開日 03.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/020918
国際出願日 27.05.2019
IPC
G01N 22/00 2006.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
22マイクロ波の利用による材料の調査または分析
CPC
G01N 22/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
22Investigating or analysing materials by the use of microwaves or radio waves, i.e. electromagnetic waves with a wavelength of one millimetre or more
出願人
  • 三菱電機株式会社 MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 末延 博 SUENOBU, Hiroshi
  • 田中 泰 TANAKA, Tai
  • 瀧川 道生 TAKIKAWA, Michio
代理人
  • 田澤 英昭 TAZAWA, Hideaki
  • 濱田 初音 HAMADA, Hatsune
  • 中島 成 NAKASHIMA, Nari
  • 辻岡 将昭 TSUJIOKA, Masaaki
  • 井上 和真 INOUE, Kazuma
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) DIELECTRIC CONSTANT MEASUREMENT DEVICE, DIELECTRIC CONSTANT MEASUREMENT SYSTEM, PLASMA PARAMETER MEASUREMENT DEVICE, AND PLASMA PARAMETER MEASUREMENT SYSTEM
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE CONSTANTE DIÉLECTRIQUE, SYSTÈME DE MESURE DE CONSTANTE DIÉLECTRIQUE, DISPOSITIF DE MESURE DE PARAMÈTRE DE PLASMA ET SYSTÈME DE MESURE DE PARAMÈTRE DE PLASMA
(JA) 誘電率測定装置、誘電率測定システム、プラズマパラメータ測定装置及びプラズマパラメータ測定システム
要約
(EN) A dielectric constant measurement device (11) that is for use in a measurement system that includes a transmitter (20) that radiates electromagnetic waves from a transmission antenna (TX) toward a measurement space (SF), a reception antenna (RX) that receives, from the measurement space (SF), scattered waves that correspond to the radiated electromagnetic waves, and a receiver (30) that generates a reception signal (RS) on the basis of an output signal from the reception antenna (RX). The dielectric constant measurement device (11) comprises a scattering characteristics measurement unit (41) that calculates a scattering characteristics measurement (MS) from the reception signal (RS), a scattering characteristics estimation unit (42) that uses a mathematical model to calculate a scattering characteristics estimate (ES), and an updating unit (43) that updates a dielectric constant distribution estimate such that the magnitude of the difference between the measurement (MS) and the estimate (ES) decreases.
(FR) Dispositif de mesure de constante diélectrique (11) qui est destiné à être utilisé dans un système de mesure qui comprend un émetteur (20) qui émet des ondes électromagnétiques à partir d'une antenne d'émission (TX) et en direction d'un espace de mesure (SF), une antenne de réception (RX) qui reçoit, en provenance de l'espace de mesure (SF), des ondes diffusées qui correspondent aux ondes électromagnétiques émises, et un récepteur (30) qui génère un signal de réception (RS) sur la base d'un signal de sortie provenant de l'antenne de réception (RX). Le dispositif de mesure de constante diélectrique (11) comprend une unité de mesure de caractéristiques de diffusion (41) qui calcule une mesure de caractéristiques de diffusion (MS) à partir du signal de réception (RS), une unité d'estimation de caractéristiques de diffusion (42) qui utilise un modèle mathématique pour calculer une estimation de caractéristiques de diffusion (ES), et une unité de mise à jour (43) qui met à jour une estimation de distribution de constante diélectrique de telle sorte que la valeur de la différence entre la mesure (MS) et l'estimation (ES) diminue.
(JA) 誘電率測定装置(11)は、送信アンテナ(TX)から被測定空間(SF)に向けて電磁波を放射させる送信器(20)と、当該放射された電磁波に対応する散乱波を被測定空間(SF)から受信する受信アンテナ(RX)と、受信アンテナ(RX)の出力信号に基づいて受信信号(RS)を生成する受信器(30)とを含む測定システムにおいて使用される。誘電率測定装置(11)は、受信信号(RS)から散乱特性の測定量(MS)を算出する散乱特性測定部(41)と、数理モデルを用いて散乱特性の推定量(ES)を算出する散乱特性推定部(42)と、測定量(MS)と推定量(ES)との間の誤差の大きさを小さくするように誘電率分布の推定量を更新する更新部(43)とを備える。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報