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1. WO2020240655 - 試料保持器および荷電粒子線装置

公開番号 WO/2020/240655
公開日 03.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/020877
国際出願日 27.05.2019
IPC
H01J 37/20 2006.1
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
20物体または材料を支持しまたは位置づける手段;支持体に関連した隔膜壁またはレンズを調節する手段
CPC
H01J 37/20
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
20Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
出願人
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 羽根田 茂 HANEDA, Shigeru
  • 東 淳三 AZUMA, Junzo
代理人
  • 特許業務法人筒井国際特許事務所 TSUTSUI & ASSOCIATES
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SAMPLE HOLDER AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) PORTE-ÉCHANTILLON ET DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 試料保持器および荷電粒子線装置
要約
(EN) Provided is a sample holder (HL) capable of efficiently applying pressure to the observation surface of a sample (SAM). The sample holder (HL) has a fixed electrode (4b), a movable electrode (5) and a pressure-applying member (6) which is attached to the movable electrode (5) and has the function of moving the movable electrode (5) in the horizontal direction. When the sample (SAM) is held between the lateral surface of the fixed electrode (4b) and the lateral surface of the movable electrode (5), the upper surface of the sample (SAM) is positioned within the range of the width of the pressure-applying member (6) in the Z-direction in the area at which the pressure-applying member (6) contacts the movable electrode (5).
(FR) L'invention concerne un porte-échantillon (HL) pouvant appliquer efficacement une pression sur la surface d'observation d'un échantillon (SAM). Le porte-échantillon (HL) comporte une électrode fixe (4b), une électrode mobile (5) et un élément d'application de pression (6) qui est fixé à l'électrode mobile (5) et a la fonction de déplacer l'électrode mobile (5) dans la direction horizontale. Lorsque l'échantillon (SAM) est maintenu entre la surface latérale de l'électrode fixe (4b) et la surface latérale de l'électrode mobile (5), la surface supérieure de l'échantillon (SAM) est positionnée dans la plage de la largeur de l'élément d'application de pression (6) dans la direction Z dans la zone où l'élément d'application de pression (6) entre en contact avec l'électrode mobile (5).
(JA) 試料(SAM)の観察面に対して圧力を効率的に印加可能な試料保持器(HL)を提供する。試料保持器(HL)は、固定電極(4b)と、可動電極(5)と、可動電極(5)に取り付けられ、且つ、可動電極(5)を水平方向へ移動させる機能を有する圧力印加部材(6)とを有する。固定電極(4b)の側面と可動電極(5)の側面との間に試料(SAM)を保持する場合、Z方向において、試料(SAM)の上面を、圧力印加部材(6)が可動電極(5)に接する箇所における圧力印加部材(6)の幅の範囲内に位置させる。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報