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1. WO2020235131 - 圧電デバイス

公開番号 WO/2020/235131
公開日 26.11.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/001645
国際出願日 20.01.2020
IPC
H01L 41/08 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
H01L 41/09 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
09電気的入力および機械的出力をもつもの
H01L 41/113 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
113機械的入力および電気的出力をもつもの
CPC
H01L 41/08
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
H01L 41/09
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
09with electrical input and mechanical output ; , e.g. actuators, vibrators
H01L 41/113
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
113with mechanical input and electrical output ; , e.g. generators, sensors
出願人
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 岸本 諭卓 KISHIMOTO, Yutaka
  • 池内 伸介 IKEUCHI, Shinsuke
  • 鈴木 勝之 SUZUKI, Masayuki
  • 黒川 文弥 KUROKAWA, Fumiya
代理人
  • 特許業務法人深見特許事務所 FUKAMI PATENT OFFICE, P.C.
優先権情報
2019-09401817.05.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PIEZOELECTRIC DEVICE
(FR) DISPOSITIF PIÉZOÉLECTRIQUE
(JA) 圧電デバイス
要約
(EN)
This piezoelectric device is provided with a base part (1) and an upper part layer (2) which is positioned upward of the base part (1) and supported by the base part (1). The upper part layer (2) includes a membrane part (3) which is a region which does not overlap with the base part (1) in plan view. The membrane part (3) includes at least one piezoelectric body layer (51, 52) in a state of being vertically sandwiched by electrode layers. A seed layer (9) serving as an intermediate layer is positioned between the base part (1) and a lower part electrode (21) serving as the electrode layer which is downward of the lowest piezoelectric body layer from among the at least one piezoelectric body layer. The intermediate layer comprises a stack body of one or more individual layers, and the individual layer exposed as the lower surface of the membrane part (3) from among the one or more individual layers has a bend part (13) which rises from the lower surface of the membrane part (3) toward a lateral wall at a boundary between a portion which forms the lower surface of the membrane part (3) and a portion which overlaps with the base part (1).
(FR)
L'invention concerne un dispositif piézoélectrique comportant une partie de base (1) et une couche de partie supérieure (2) qui est positionnée vers le haut de la partie de base (1) et supportée par la partie de base (1). La couche de partie supérieure (2) comprend une partie de membrane (3) qui est une région qui ne chevauche pas la partie de base (1) dans une vue en plan. La partie de membrane (3) comprend au moins une couche de corps piézoélectrique (51, 52) dans un état qui est pris en sandwich verticalement par des couches d'électrode. Une couche de germe (9) servant de couche intermédiaire est positionnée entre la partie de base (1) et une électrode de partie inférieure (21) servant de couche d'électrode qui est vers le bas de la couche de corps piézoélectrique la plus basse parmi l'au moins une couche de corps piézoélectrique. La couche intermédiaire comprend un corps d'empilement d'une ou de plusieurs couches individuelles, et la couche individuelle exposée en tant que surface inférieure de la partie de membrane (3) parmi l'au moins une couche individuelle a une partie courbée (13) qui s'élève à partir de la surface inférieure de la partie de membrane (3) vers une paroi latérale à une délimitation entre une partie qui forme la surface inférieure de la partie de membrane (3) et une partie qui chevauche la partie de base (1).
(JA)
圧電デバイスは、基部(1)と、基部(1)より上側に配置され、基部(1)によって支持される上部層(2)とを備える。上部層(2)は、平面視したときに基部(1)と重ならない領域であるメンブレン部(3)を含む。メンブレン部(3)は、上下から電極層によって挟まれた状態の少なくとも1つの圧電体層(51,52)を含んでいる。前記少なくとも1つの圧電体層のうち最も下にある圧電体層のさらに下側にある電極層としての下部電極(21)と基部(1)との間に中間層としてのシード層(9)が配置されている。前記中間層は1以上の個別層の積層体であり、前記1以上の個別層のうちメンブレン部(3)の下面として露出している個別層は、メンブレン部(3)の下面をなす部分と基部(1)に重なる部分との境界に、メンブレン部(3)の下面から側壁へと立ち上がる屈曲部(13)を有する。
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