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1. WO2020230782 - インピーダンス整合装置

公開番号 WO/2020/230782
公開日 19.11.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/018970
国際出願日 12.05.2020
IPC
H05H 1/24 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
Hプラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1プラズマの生成;プラズマの取扱い
24プラズマの発生
H05H 1/46 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
Hプラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1プラズマの生成;プラズマの取扱い
24プラズマの発生
46電磁界を用いるもの,例.高周波またはマイクロ波エネルギー
H03H 7/40 2006.01
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
7回路網の部品として受動的電気素子のみを含む多端子対回路網
38インピーダンス整合回路網
40電源インピーダンスに対する負荷インピーダンスの自動整合
H03H 7/46 2006.01
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
7回路網の部品として受動的電気素子のみを含む多端子対回路網
46相異った周波数または周波数帯域で動作する若干の電源または負荷を共通の負荷または電源に接続するための回路網
出願人
  • 東京計器株式会社 TOKYO KEIKI INC. [JP]/[JP]
発明者
  • 松永 基 MATSUNAGA, Motomu
代理人
  • 赤澤 日出夫 AKAZAWA, Hideo
優先権情報
2019-09193415.05.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) IMPEDANCE MATCHING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ADAPTATION D'IMPÉDANCE
(JA) インピーダンス整合装置
要約
(EN)
This impedance matching device (2A) is connected between plasma generation electrodes (51), (52) and a high-frequency power source (1) that selectively supplies high-frequency power at multiple frequencies, the impedance matching device being equipped with: a plurality of matching units (31), (32) which are provided in correspondence to high-frequency power at the respective multiple frequencies in order to cause the impedance of the high-frequency power source (1) to be matched to the impedance of a plasma load; and a branching unit (20) which demultiplexes the high-frequency power having the respective multiple frequencies and being outputted from the high-frequency power source (1), and outputs the high-frequency power to one of the matching units (31), (32) corresponding to the high-frequency power having the demultiplexing-derived frequency.
(FR)
La présente invention porte sur un dispositif d'adaptation d'impédance (2A) qui est connecté entre des électrodes de génération de plasma (51), (52) et une source d'alimentation haute fréquence (1) qui fournit sélectivement une puissance haute fréquence à de multiples fréquences, le dispositif d'adaptation d'impédance étant équipé : d'une pluralité d'unités d'adaptation (31), (32) qui sont fournies en correspondance avec une puissance haute fréquence aux multiples fréquences respectives afin de provoquer une adaptation de l'impédance de la source d'alimentation haute fréquence (1) à l'impédance d'une charge plasma ; et d'une unité d'aiguillage (20) qui démultiplexe la puissance haute fréquence ayant les multiples fréquences respectives et qui est délivrée par la source d'alimentation haute fréquence (1), et délivre la puissance haute fréquence à celle des unités d'adaptation (31), (32) qui correspond à la puissance haute fréquence ayant la fréquence obtenue par démultiplexage.
(JA)
プラズマ生成電極(51),(52)と複数の周波数の高周波電力を選択的に供給する高周波電源(1)との間に接続されるインピーダンス整合装置(2A)であって、複数の周波数の高周波電力のそれぞれに対応して設けられ、高周波電源(1)のインピーダンスにプラズマ負荷のインピーダンスを整合させる複数の整合器(31),(32)と、高周波電源(1)により出力される複数の周波数の高周波電力を分波し、複数の整合器(31),(32)のうち、分波した周波数の高周波電力に対応する整合器に出力する分波器(20)とを備えた。
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