A diaphragm valve (11) equipped with: a valve main body (13) having formed therein a valve chamber (19), and an inflow passage (25) and an outflow passage (29) communicating with the valve chamber (19); an annular valve seat (21) formed in the valve chamber (19); a diaphragm (15) that contacts and separates from the valve seat (21); and a drive unit (17) that drives the diaphragm (15). A drive unit case (31) of the drive unit (17) is coupled to the valve main body (13) such that an outer peripheral edge portion of the diaphragm (15) is sandwiched between the valve main body (13) and the drive unit case, and the drive unit case (31) is formed from an electroconductive fluorine resin material.

L'invention concerne une soupape à diaphragme (11) comprenant : un corps principal de soupape (13) dans lequel est formée une chambre de soupape (19) ainsi qu'un passage d'entrée (25) et un passage de sortie (29) qui communiquent avec la chambre de soupape (19) ; un siège de soupape annulaire (21) formé dans la chambre de soupape (19) ; un diaphragme (15) qui entre en contact avec le siège de soupape (21) et se sépare de celui-ci ; et une unité d'entraînement (17) qui entraîne le diaphragme (15). Un boîtier d'unité d'entraînement (31) de l'unité d'entraînement (17) est couplé au corps principal de soupape (13) de sorte qu'une portion de bord périphérique externe du diaphragme (15) est prise en sandwich entre le corps principal de soupape (13) et le boîtier d'unité d'entraînement, et le boîtier d'unité d'entraînement (31) est constitué d'un matériau de résine fluorée électro-conducteur.

ダイヤフラムバルブ（１１）は、弁室（１９）と弁室（１９）に連通する流入路（２５）及び流出路（２９）とが形成された弁本体（１３）と、弁室（１９）に形成された環状の弁座（２１）と、弁座（２１）に接離するダイヤフラム（１５）と、ダイヤフラム（１５）を駆動する駆動部（１７）とを備える。駆動部（１７）の駆動部筐体（３１）が弁本体（１３）との間にダイヤフラム（１５）の外周縁部を挟持するように弁本体（１３）に連結されており、駆動部筐体（３１）が導電性フッ素樹脂材料から形成されている。