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1. WO2020203137 - 露光装置、フラットパネルディスプレイ製造方法、及びデバイス製造方法

公開番号 WO/2020/203137
公開日 08.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/010753
国際出願日 12.03.2020
IPC
G03F 7/20 2006.01
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20露光;そのための装置
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人
  • 株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 青木保夫 AOKI, Yasuo
代理人
  • 片山修平 KATAYAMA, Shuhei
優先権情報
2019-06635729.03.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) EXPOSURE APPARATUS, FLAT-PANEL DISPLAY PRODUCTION METHOD, AND DEVICE PRODUCTION METHOD
(FR) APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'AFFICHEUR A PANNEAU PLAT, ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE DISPOSITIF
(JA) 露光装置、フラットパネルディスプレイ製造方法、及びデバイス製造方法
要約
(EN)
With a view to achieving apparatus downsizing (narrowing of footprint), this exposure apparatus (100) is provided with: an exposure apparatus body (10); a chamber (200) in which the exposure apparatus body is accommodated; a substrate retention part (160) which is disposed within the chamber (200) so as to receive and retain a substrate (P) that is brought over by an external transfer robot (300) located outside the chamber (200); and a substrate transfer device (140) which handles the transfer of the substrate (P) from the external transfer robot (300) to the substrate retention part (160), the transfer of the substrate (P) from the substrate retention part (160) onto a retention apparatus (28) installed in the exposure apparatus body (10), and the transfer of the substrate (P) from on top of the retention apparatus (28) to the external transfer robot (300).
(FR)
L'invention concerne un appareil d'exposition (100) qui, en vue d'obtenir une réduction de sa taille (rétrécissement de l'encombrement), est comprend : un corps d'appareil d'exposition (10); une chambre (200) dans laquelle est logé le corps d'appareil d'exposition; une partie de retenue de substrat (160) qui est disposée à l'intérieur de la chambre (200) de façon à recevoir et à retenir un substrat (P) qui est amené par un robot de transfert externe (300) situé à l'extérieur de la chambre (200); et un dispositif de transfert de substrat (140) qui gère le transfert du substrat (P) depuis le robot de transfert externe (300) vers la partie de retenue de substrat (160), le transfert du substrat (P) depuis la partie de retenue de substrat (160) sur un appareil de retenue (28) installé dans le corps d'appareil d'exposition (10), et le transfert du substrat (P) depuis le dessus de l'appareil de retenue (28) vers le robot de transfert externe (300).
(JA)
装置の小型化(フットプリントの狭小化)を図るため、露光装置(100)は、露光装置本体(10)と、前記露光装置本体を収容するチャンバ(200)と、前記チャンバ(200)外の外部搬送ロボット(300)によって搬送されてくる基板(P)を受け取り、保持する、前記チャンバ(200)内に設けられた基板保持部(160)と、前記外部搬送ロボット(300)から前記基板保持部(160)への前記基板(P)の受け渡し、前記基板保持部(160)から前記露光装置本体(10)が有する保持装置(28)上への前記基板(P)の受け渡し、前記保持装置(28)上から前記外部搬送ロボット(300)への前記基板(P)の受け渡し、を行う基板受け渡し装置(140)と、を備える。
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