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1. WO2020202942 - セラミック基板の製造方法及びセラミック基板

公開番号 WO/2020/202942
公開日 08.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/008257
国際出願日 28.02.2020
IPC
H01L 23/08 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
23半導体または他の固体装置の細部
02容器,封止
06容器の材料またはその電気特性に特徴のあるもの
08材料が絶縁体のもの,例.ガラス
H01L 23/12 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
23半導体または他の固体装置の細部
12マウント,例.分離できない絶縁基板
H05K 1/03 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
K印刷回路;電気装置の箱体または構造的細部,電気部品の組立体の製造
1印刷回路
02細部
03基体用材料の使用
出願人
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 崔 弘毅 SAI, Koki
代理人
  • 特許業務法人酒井国際特許事務所 SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE
優先権情報
2019-06826829.03.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC SUBSTRATE, AND CERAMIC SUBSTRATE
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT CÉRAMIQUE ET SUBSTRAT CÉRAMIQUE
(JA) セラミック基板の製造方法及びセラミック基板
要約
(EN)
This method for manufacturing a ceramic substrate is a method for manufacturing a ceramic substrate having a recess on an upper surface thereof, and includes: a step for forming a mother laminate by preparing a plurality of ceramic green sheets, providing a sacrificial material that is destroyed by firing to a planned recess formation region on at least one of the plurality of ceramic green sheets, the planned recess formation region being a region in which a recess is to be formed following firing, and layering the plurality of ceramic green sheets so that the ceramic green sheet on which the sacrificial material has been provided is positioned on the uppermost layer; and a step for forming a recess in the mother laminate prior to firing by pressing the planned recess formation region of the mother laminate.
(FR)
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un substrat céramique présentant un évidement sur sa surface supérieure, ce procédé comprenant : une étape consistant à former un stratifié mère par préparation d'une pluralité de feuilles de céramique crues, à placer un matériau sacrificiel qui est détruit par la cuisson au niveau d'une région de formation d'évidement planifiée sur au moins une feuille de la pluralité de feuilles de céramique crues, la région de formation d'évidement planifiée étant une région dans laquelle un évidement doit être formé après cuisson, et appliquer la pluralité de feuilles de céramique crues en couches de telle sorte que la feuille de céramique crue sur laquelle le matériau sacrificiel a été placé est positionnée sur la couche supérieure ; et une étape consistant à former un évidement dans le stratifié mère avant la cuisson par compression de la région de formation d'évidement planifiée du stratifié mère.
(JA)
セラミック基板の製造方法は、上面に凹部を有するセラミック基板の製造方法であって、複数のセラミックグリーンシートを用意し、複数のセラミックグリーンシートのうち少なくとも1枚のセラミックグリーンシートの、焼成後に凹部が形成される凹部形成予定領域に、焼成により消失する消失物質を設け、消失物質が設けられたセラミックグリーンシートが最上層に位置するように、複数のセラミックグリーンシートを積層してマザー積層体を形成する工程と、マザー積層体の凹部形成予定領域をプレス加工することで、焼成前のマザー積層体に凹部を形成する工程と、を有する。
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