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1. WO2020202730 - X線分析装置

公開番号 WO/2020/202730
公開日 08.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/002468
国際出願日 24.01.2020
IPC
G21K 1/06 2006.01
G物理学
21核物理;核工学
K他に分類されない粒子線または電離放射線の取扱い技術;照射装置;ガンマ線またはX線顕微鏡
1粒子または電離放射線の取扱い装置,例.集束または減速
06回折,屈折または反射を用いるもの,例.モノクロメーター
G01N 23/085 2018.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
23グループG01N3/00~G01N17/00,G01N21/00またはG01N22/00に包含されない波動性または粒子性放射線,例.X線,中性子線,の使用による材料の調査または分析
02放射線の材料透過によるもの
06さらに吸収を測定するもの
083放射線がX線であるもの
085X線吸収微細構造,例.広域X線吸収微細構造[2018.01]
G01N 23/20008 2018.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
23グループG01N3/00~G01N17/00,G01N21/00またはG01N22/00に包含されない波動性または粒子性放射線,例.X線,中性子線,の使用による材料の調査または分析
20材料による放射線の回折の利用によるもの,例.結晶構造の調査のためのもの;材料による放射線の散乱の利用によるもの,例.非結晶構造の調査のためのもの;材料による放射線の反射の利用によるもの
20008分析機器の構造の細部,例.X線源,検出器または光学系に特徴のあるもの;付属品;試料調製
G01N 23/207 2018.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
23グループG01N3/00~G01N17/00,G01N21/00またはG01N22/00に包含されない波動性または粒子性放射線,例.X線,中性子線,の使用による材料の調査または分析
20材料による放射線の回折の利用によるもの,例.結晶構造の調査のためのもの;材料による放射線の散乱の利用によるもの,例.非結晶構造の調査のためのもの;材料による放射線の反射の利用によるもの
207回折法,例.プローブを中心として1以上の移動可能な検出器を円周上に配置するもの
G01N 23/223 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
23グループG01N3/00~G01N17/00,G01N21/00またはG01N22/00に包含されない波動性または粒子性放射線,例.X線,中性子線,の使用による材料の調査または分析
22材料からの二次放射の測定によるもの
223X線またはガンマ線を試料に照射して蛍光X線を測定するもの
出願人
  • 株式会社応用科学研究所 APPLIED SCIENCE LABORATORY CO., LTD [JP]/[JP]
発明者
  • 副島 啓義 SOEJIMA, Hiroyoshi
代理人
  • 特許業務法人京都国際特許事務所 KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE
優先権情報
2019-06795829.03.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) X-RAY ANALYSIS APPARATUS
(FR) APPAREIL D’ANALYSE PAR RAYONS X
(JA) X線分析装置
要約
(EN)
An X-ray analysis apparatus according to an embodiment of the present invention comprises: an X-ray source (10); straight pipe-type multi-capillaries (11, 12); a flat spectroscopic crystal (15); a parallel/point-focused multi-capillary X-ray lens (13); and a Fresnel zone plate (14). When a qualitative analysis is performed on a sample (S1) in a certain wide range, the flat spectroscopic crystal (15) and the Fresnel zone plate (14) are removed from an X-ray optical path, and continuous X-rays are collected by the multi-capillary X-ray lens (13) and are irradiated onto the sample (S1). When an analysis is desired of a chemical form of an element in a microscopic portion on the sample (S1), the multi-capillary X-ray lens (13) is retracted from the X-ray optical path, the X-ray source (10) or the like is rotated, and the flat spectroscopic crystal (15) and the Fresnel zone plate (14) are inserted into the X-ray optical path. The Fresnel zone plate (14) irradiates a very narrow range on the sample (S1) with X-rays extracted from the flat spectroscopic crystal (15) and having a specific energy. Accordingly, an accurate qualitative analysis can be performed on a sample in a certain wide range, and a detailed analysis of a finer portion can be performed.
(FR)
La présente invention concerne un appareil d'analyse par rayons X qui, selon un mode de réalisation, comprend : une source de rayons X (10) ; des capillaires multiples de type tuyau droit (11, 12) ; un cristal spectroscopique plat (15) ; une lentille à rayons X multi-capillaire à focalisation parallèle / par point (13) ; et une plaque de zone de Fresnel (14). Lorsqu'une analyse qualitative est effectuée sur un échantillon (S1) dans une certaine plage étendue, le cristal spectroscopique plat (15) et la plaque de zone de Fresnel (14) sont retirés d'un trajet optique de rayons X, et des rayons X continus sont collectés par la lentille à rayons X multi-capillaire (13) et sont irradiés sur l'échantillon (S1). Lorsqu'une analyse d'une forme chimique d'un élément dans une partie microscopique sur l'échantillon (S1) est souhaitée, la lentille à rayons X multi-capillaire (13) est rétractée à partir du trajet optique de rayons X, la source de rayons X (10) ou analogue est tournée, et le cristal spectroscopique plat (15) et la plaque de zone de Fresnel (14) sont introduits dans le trajet optique de rayons X. La plaque de zone De Fresnel (14) irradie une plage très étroite sur l'échantillon (S1) avec des rayons X extraits du cristal spectroscopique plat (15) et ayant une énergie spécifique. En conséquence, une analyse qualitative précise peut être effectuée sur un échantillon dans une certaine plage étendue, et une analyse détaillée d'une partie plus fine peut également être effectuée.
(JA)
本発明の一実施形態のX線分析装置は、X線源(10)、直管型マルチキャピラリ(11、12)と、平板分光結晶(15)と、平行/点焦点型マルチキャピラリX線レンズ(13)と、フレネルゾーンプレート(14)と、を含む。試料(S1)上の或る程度広い範囲における定性分析を実施する場合には、平板分光結晶(15)及びフレネルゾーンプレート(14)をX線光路上から外し、連続X線をマルチキャピラリX線レンズ(13)で集光して試料(S1)に照射する。試料(S1)上の微小部位における元素の化学形態を解析したい場合、マルチキャピラリX線レンズ(13)をX線光路上から退避させる一方、X線源(10)等を回動させ、平板分光結晶(15)及びフレネルゾーンプレート(14)をX線光路上に挿入する。平板分光結晶(15)で取り出した特定のエネルギを有するX線をフレネルゾーンプレート(14)で試料(S1)上のごく狭い範囲に照射する。これにより、試料上の或る程度の範囲における正確な定性分析を実施するとともに、より微小な部位の詳細な解析も可能となる。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報