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1. WO2020202603 - スパッタリングターゲットの梱包物の作製方法及び輸送方法

公開番号 WO/2020/202603
公開日 08.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/037139
国際出願日 20.09.2019
予備審査請求日 03.03.2020
IPC
C23C 14/34 2006.01
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22被覆の方法に特徴のあるもの
34スパッタリング
B65B 31/04 2006.01
B処理操作;運輸
65運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
B物品または材料を包装するための機械,器具,装置または方法;荷解
31特殊な雰囲気またはガス状態のもとでの物品または材料の包装;エアゾール容器への推進剤の添加
04空気またはその他のガス,例.不活性ガス,を吸引するまたは供給するノズルによって,充填された容器または被包材を排気する,加圧するまたはガス置換すること
出願人
  • JX金属株式会社 JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 荻野 真一 OGINO,Shin-ichi
代理人
  • アクシス国際特許業務法人 AXIS PATENT INTERNATIONAL
優先権情報
2019-06939429.03.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) METHODS FOR FABRICATING AND TRANSPORTING PACKAGE OF SPUTTERING TARGET
(FR) PROCÉDÉS DE FABRICATION ET DE TRANSPORT D'UN EMBALLAGE D'UNE CIBLE DE PULVÉRISATION
(JA) スパッタリングターゲットの梱包物の作製方法及び輸送方法
要約
(EN)
Provided is a method for fabricating a package capable of effectively minimizing surface deterioration even for a sputtering target that contains an oxide of boron and that is vulnerable to surface deterioration due to moisture. This method for fabricating a sputtering target package comprises: a first step 1 for housing a sputtering target in a first packaging bag made of a film having a vapor permeability of at most 1 g/(m2·24 h) and then sealing an opening of the first packaging bag by vacuum sealing; and a second step 2 for housing the first packaging bag having undergone vacuum sealing in step 1 in a second packaging bag made of a film having a vapor permeability of at most 1 g/(m2·24 h), encapsulating, in the second packaging bag, one or more types of cushion gas selected from the group consisting of air and inert gases, and sealing an opening of the second packaging bag.
(FR)
La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un emballage susceptible de réduire au minimum efficacement la détérioration superficielle, même pour une cible de pulvérisation qui contient un oxyde de bore et qui est vulnérable à la détérioration superficielle due à l'humidité. Ce procédé de fabrication d'un emballage d'une cible de pulvérisation comprend : une première étape 1 consistant à loger une cible de pulvérisation dans un premier sac d'emballage constitué d'un film présentant une perméabilité à la vapeur de 1 g/(m2·24 h) au plus et à sceller ensuite une ouverture du premier sac d'emballage par scellement sous vide ; et une seconde étape 2 consistant à loger le premier sac d'emballage qui a subi un scellement sous vide à l'étape 1 dans un second sac d'emballage constitué d'un film présentant une perméabilité à la vapeur de 1 g/(m2·24 h) au plus, à encapsuler, dans le second sac d'emballage, un ou plusieurs types de gaz-coussins choisis dans le groupe constitué par l'air et les gaz inertes et à sceller une ouverture du second sac d'emballage.
(JA)
ホウ素の酸化物を含有するスパッタリングターゲットのような水分によって表面が変質しやすいスパッタリングターゲットにおいても、表面変質を効果的に抑制可能な梱包物の作製方法を提供する。水蒸気透過度が1g/(m2・24h)以下のフィルムでできた第一梱包袋の中にスパッタリングターゲットを収納した後に、第一梱包袋の開口部を真空封止する工程1と、水蒸気透過度が1g/(m2・24h)以下のフィルムでできた第二梱包袋の中に工程1で真空封止された第一梱包袋を収納した後に、第二梱包袋の中に空気及び不活性ガスよりなる群から選択される一種又は二種以上のクッションガスを封入し、第二梱包袋の開口部を封止する工程2と、を含むスパッタリングターゲットの梱包物の作製方法。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報