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1. WO2020201880 - 検査装置及び検査方法

公開番号 WO/2020/201880
公開日 08.10.2020
国際出願番号 PCT/IB2020/052564
国際出願日 20.03.2020
IPC
H01J 37/22 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
22管と関連した光学または写真装置
G06T 7/00 2017.01
G物理学
06計算;計数
Tイメージデータ処理または発生一般
7イメージ分析
H01L 21/02 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
H01L 21/66 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
出願人
  • 株式会社半導体エネルギー研究所 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 郷戸宏充 GODO, Hiromichi
  • 林健太郎 HAYASHI, Kentaro
優先権情報
2019-07052902.04.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD
(FR) APPAREIL D’INSPECTION ET PROCÉDÉ D’INSPECTION
(JA) 検査装置及び検査方法
要約
(EN)
The present invention provides an inspection apparatus capable of detecting an abnormality included in an image with high accuracy. This inspection apparatus comprises an electron microscope, an image processing device, and a calculator. The electron microscope has a function of generating a signal corresponding to the surface shape of a sample on a stage. The image processing device has a function of producing a first image corresponding to the signal. The calculator has a circuit in which a neural network is configured, and has a function of acquiring a second image on the basis of the first image by the neural network. The calculator further has a function of acquiring a third image by performing smoothing processing on the first image, and acquiring a fourth image by performing smoothing processing on the second image. The calculator furthermore has a function of acquiring a fifth image by taking a difference between the third image and the fourth image.
(FR)
La présente invention concerne un appareil d’inspection pouvant détecter une anomalie incluse dans une image avec une haute précision. L’appareil d’inspection comprend un microscope électronique, un dispositif de traitement d’images, et un calculateur. Le microscope électronique a une fonction consistant à générer un signal correspondant à la forme de surface d’un échantillon sur un étage. Le dispositif de traitement d’images a une fonction consistant à produire une première image correspondant au signal. Le calculateur a un circuit dans lequel un réseau neural est configuré, et a une fonction consistant à acquérir une deuxième image sur la base de la première image au moyen du réseau neural. Le calculateur a également une fonction consistant à acquérir une troisième image en procédant à un traitement de lissage sur la première image, et à acquérir une quatrième image en procédant à un traitement de lissage sur la deuxième image. Le calculateur a en outre une fonction consistant à acquérir une cinquième image en prenant une différence entre la troisième image et la quatrième image.
(JA)
画像に含まれる異常を高精度に検知することが可能な検査装置を提供する。 電子顕微鏡と、画像処理装置と、計算機と、を有する検査装置。電子顕微鏡は、ステージ上の試料の表面形状に対応する信号を発生させる機能を有する。画像処理装置は、当該信号に対応する第1の画像を生成する機能を有する。計算機は、ニューラルネットワークが構成された回路を有し、当該ニューラルネットワークにより、第1の画像を基にして第2の画像を取得する機能を有する。また、計算機は、第1の画像に対して平滑化処理を行うことにより第3の画像を取得し、第2の画像に対して平滑化処理を行うことにより第4の画像を取得する機能を有する。さらに、計算機は、第3の画像と、第4の画像と、の差分をとることにより、第5の画像を取得する機能を有する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報