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1. WO2020196693 - 分光測定装置及び分光測定方法

公開番号 WO/2020/196693
公開日 01.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/013502
国際出願日 25.03.2020
IPC
G01J 3/45 2006.01
G物理学
01測定;試験
J赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
3分光測定;分光光度測定;モノクロメータ;色の測定
28スペクトルの調査
45干渉分光測定
G02B 5/30 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
5レンズ以外の光学要素
30偏光要素
出願人
  • ウシオ電機株式会社 USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP]
発明者
  • 世良 英之 SERA Hideyuki
  • 渡邊 勝也 WATANABE Katsuya
代理人
  • 保立 浩一 HOTATE Koichi
優先権情報
2019-06200127.03.2019JP
2019-06200627.03.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SPECTROMETRY DEVICE AND SPECTROMETRY METHOD
(FR) DISPOSITIF DE SPECTROMÉTRIE ET PROCÉDÉ DE SPECTROMÉTRIE
(JA) 分光測定装置及び分光測定方法
要約
(EN)
[Problem] To raise an S/N ratio by increasing the intensity of light incident to each light reception pixel and remove the effect of noise caused by the properties or arrangement of a birefringent crystal. [Solution] Transmitted light from an object irradiated with light from a light source 1 is divided into two optical waves L1, L2 by a Francon-type Savart plate 31 in an interference optical system 3, focused and interfered on the light receiving surface of an array detector 21 by a Fourier transform lens 32 while being condensed by a condenser lens 33, and then forms interferogram. The output from the array detector 21 is transmitted to a calculation means 4 and a spectrum is calculated. A measurable range is limited to a range of a wavelength width smaller than one octave, and the calculation means 4 excludes, from the measurement result, a measurement value out of the range.
(FR)
Le problème décrit par la présente invention est d'augmenter un rapport S/N par l'augmentation de l'intensité de la lumière incidente à chaque pixel de réception de lumière et d'éliminer l'effet de bruit provoqué par les propriétés ou l'agencement d'un cristal biréfringent. La solution de l'invention porte sur : une lumière émise par un objet irradié avec une lumière provenant d'une source de lumière (1) qui est divisée en deux ondes optiques (L1, L2) par une plaque de Savart de type Françon (31) dans un système optique d'interférence (3), focalisée et brouillée sur la surface de réception de lumière d'un détecteur de réseau (21) par une lentille de transformée de Fourier (32) tout en étant condensée par une lentille de condenseur (33), puis qui forme un interférogramme. La sortie du détecteur de réseau (21) est transmise à un moyen de calcul (4) et un spectre est calculé. Une plage mesurable est limitée à une plage d'une largeur de longueur d'onde inférieure à une octave, et le moyen de calcul '4) exclut du résultat de mesure une valeur de mesure hors de la plage.
(JA)
【課題】 各受光ピクセルに入射する光の強度を高めてSN比を高くし、また複屈折結晶の性質又は配置等に起因したノイズの影響を除去する。 【解決手段】 光源1からの光が照射された対象物からの透過光は、干渉光学系3中のフランコン型サバール板31により二つの光波L1,L2に分けられ、集光レンズ33により集光されながら、フーリエ変換レンズ32によりアレイ検出器21の受光面に結んで干渉し、インターフェログラムを形成する。アレイ検出器21からの出力は演算手段4に送られてスペクトルが算出される。測定可能な範囲は1オクターブ未満の波長幅の範囲に制限されており、演算手段4は、その範囲外の測定値を測定結果から除外する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報