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1. WO2020196667 - 重合体、レジスト組成物、パターンが形成された基板の製造方法、並びに(メタ)アクリル酸エステル及びその製造方法

公開番号 WO/2020/196667
公開日 01.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/013457
国際出願日 25.03.2020
IPC
C07D 333/48 2006.01
C化学;冶金
07有機化学
D複素環式化合物(高分子化合物C08)
333異項原子として1個の硫黄原子のみをもつ5員環を含有する複素環式化合物
02他の環と縮合していないもの
46環の硫黄原子が置換されたもの
48酸素原子によるもの
C08F 220/38 2006.01
C化学;冶金
08有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物
F炭素-炭素不飽和結合のみが関与する反応によってえられる高分子化合物
220ただ1つの炭素―炭素二重結合を含有する1個以上の不飽和脂肪族基をもち,そのうちのただ1つの脂肪族基がただ1つのカルボキシル基によって停止されている化合物.その塩,無水物,エステル,アミド,イミドまたはそのニトリルの共重合体
029個以下の炭素原子をもつモノカルボン酸;その誘導体
10エステル
38いおうを含有するエステル
C07B 61/00 2006.01
C化学;冶金
07有機化学
B有機化学の一般的方法あるいはそのための装置
61他の一般的方法
G03F 7/039 2006.01
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004感光材料
039光分解可能な高分子化合物,例.ポジ型電子レジスト
出願人
  • 三菱ケミカル株式会社 MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 向井 一晃 MUKAI Kazuaki
  • 城 健 JO Takeru
  • 加門 良啓 KAMON Yoshihiro
  • 佐久間 諭 SAKUMA Satoshi
  • 安齋 竜一 ANSAI Ryuichi
代理人
  • 田▲崎▼ 聡 TAZAKI Akira
  • 伏見 俊介 FUSHIMI Shunsuke
  • 大浪 一徳 ONAMI Kazunori
優先権情報
2019-05990927.03.2019JP
2019-05991027.03.2019JP
2019-06049027.03.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) POLYMER, RESIST COMPOSITION, METHOD FOR MANUFACTURING SUBSTRATE HAVING PATTERN FORMED THEREIN, AND (METH)ACRYLIC ESTER AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
(FR) POLYMÈRE, COMPOSITION DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT AYANT UN MOTIF FORMÉ À L'INTÉRIEUR DE CELUI-CI, ESTER (MÉTH)ACRYLIQUE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION ASSOCIÉ
(JA) 重合体、レジスト組成物、パターンが形成された基板の製造方法、並びに(メタ)アクリル酸エステル及びその製造方法
要約
(EN)
This polymer includes a structural unit (1) based on a monomer represented by formula (1), wherein the contained amount of a structural unit based on a monomer having a polycyclic structure is 35 mol% or less. In formula (1): R1 represents a hydrogen atom or a methyl group; A1 represents a single bond or a bonding group including an ester bond, but A1 does not have a tertiary carbon atom; and Z1 represents an atomic group forming a sulfur-containing cyclic hydrocarbon group having 3-6 carbon atoms, including -SO2- and a carbon atom bound to A1.
(FR)
L'invention concerne un polymère qui comprend une unité (1) structurale sur la base d'un monomère représenté par la formule (1), la quantité contenue d'une unité structurale sur la base d'un monomère ayant une structure polycyclique étant de 35 % en moles ou moins. Dans la formule (1), R1 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle ; A1 représente une liaison simple ou un groupe de liaison comprenant une liaison ester, mais A1 ne possède pas d'atome de carbone tertiaire ; et Z1 représente un groupe atomique formant un groupe hydrocarboné cyclique contenant du soufre ayant de 3 à 6 atomes de carbone, comprenant -SO2- et un atome de carbone lié à A1.
(JA)
式(1)で表される単量体に基づく構成単位(1)を含み、多環構造を有する単量体に基づく構成単位の含有量が35モル%以下である、重合体。式(1)中、Rは水素原子又はメチル基を表す;Aはエステル結合を含む連結基又は単結合を表す、ただし、Aは第3級炭素原子を有さない;Zは、Aと結合している炭素原子と-SO-とを含めて炭素数3~6の含硫黄環式炭化水素基を形成する原子団を表す。
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