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1. WO2020196629 - 基体構造体およびウエハ載置装置

公開番号 WO/2020/196629
公開日 01.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/013359
国際出願日 25.03.2020
IPC
H05B 3/02 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
B電気加熱;他に分類されない電気照明
3抵抗加熱
02細部
H05B 3/74 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
B電気加熱;他に分類されない電気照明
3抵抗加熱
68特に料理板あるいは類似加熱板に適した加熱装置
74非金属板
H01L 21/02 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
H01L 21/683 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683支持または把持のためのもの
出願人
  • 京セラ株式会社 KYOCERA CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 宗石 猛 MUNEISHI, Takeshi
  • 川邊 保典 KAWANABE, Yasunori
代理人
  • 飯島 康弘 IIJIMA, YASUHIRO
優先権情報
2019-06362228.03.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SUBSTRATE STRUCTURE AND WAFER MOUNTING DEVICE
(FR) STRUCTURE DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE MONTAGE DE TRANCHE
(JA) 基体構造体およびウエハ載置装置
要約
(EN)
This substrate structure is provided with: an insulative substrate; a conductor disposed inside the substrate; and a terminal that is partially disposed inside the substrate and that is electrically connected to the conductor. The terminal has a first region that faces the outside of the substrate. A cover has a recessed part which has an opening that faces the substrate. The cover has an insertion hole at least in a part thereof. A metal member has a length spanning from a first end to a second end, is connected to the terminal at the first end side, extends from within the recessed part to the inside of the insertion hole, and has the second end disposed outside the cover. A sealed space is constituted by a region that is surrounded at least by the substrate and the recessed part of the cover.
(FR)
Structure de substrat pourvue d'un substrat isolant ; d'un conducteur disposé à l'intérieur du substrat ; et d'une borne partiellement disposée à l'intérieur du substrat et électriquement connectée au conducteur. Le terminal a une première région qui fait face à l'extérieur du substrat. Un couvercle a une partie évidée qui a une ouverture qui fait face au substrat. Le couvercle a un trou d'insertion au moins dans une partie de celui-ci. Un élément métallique a une longueur s'étendant d'une première extrémité à une seconde extrémité, est relié au terminal au niveau du premier côté d'extrémité, s'étend depuis l'intérieur de la partie évidée vers l'intérieur du trou d'insertion et a la seconde extrémité disposée à l'extérieur du couvercle. Un espace étanche est constitué d'une région qui est entourée au moins par le substrat et la partie évidée du couvercle.
(JA)
基体構造体は、絶縁性の基体と、基体内に位置している導体と、少なくとも一部が基体内に位置して導体に電気的に接続されている端子と、を備えている。端子は、基体の外部に臨んでいる第1部位を有する。カバーは、凹部を有し、凹部の開口部分が基体に臨み、少なくとも一部に挿通孔を有する。金属部材は、第1端から第2端に亘る長さを有し、第1端側が端子に接続され、凹部内から挿通孔内に亘り、第2端がカバー外に位置している。少なくとも基体およびカバーの凹部により囲まれた領域は、密閉空間である。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報