(EN) A state determination device for determining the state of a drive mechanism configured so as to operate while holding a substrate in a substrate processing device. This state determination device is equipped with: an acquisition unit configured so as to acquire operational data for the drive mechanism; a model generation unit configured so as to generate a monitoring model for the drive mechanism by executing machine learning using an autoencoder on the basis of normal operational data that is derived from operational data acquired by the acquisition unit when the drive mechanism is operating normally; and a first determination unit configured so as to determine the state of the drive mechanism on the basis of first output data obtained by inputting, to the monitoring model, evaluation data that is derived from operational data obtained by the acquisition unit when the drive mechanism is being evaluated.
(FR) L'invention concerne un dispositif de détermination d'état servant à déterminer l'état d'un mécanisme d'entraînement conçu de façon à fonctionner tout en maintenant un substrat dans un dispositif de traitement de substrat. Le présent dispositif de détermination d'état est équipé : d'une unité d'acquisition configurée pour acquérir des données fonctionnelles du mécanisme d'entraînement ; d'une unité de génération de modèle configurée pour générer un modèle de surveillance du mécanisme d'entraînement par une exécution d'un apprentissage machine à l'aide d'un autocodeur sur la base de données fonctionnelles normales qui sont dérivées de données fonctionnelles acquises par l'unité d'acquisition lors du fonctionnement normal du mécanisme d'entraînement ; et d'une première unité de détermination configurée pour déterminer l'état du mécanisme d'entraînement sur la base de premières données de sortie obtenues par une entrée, dans le modèle de surveillance, de données d'évaluation qui sont dérivées de données fonctionnelles obtenues par l'unité d'acquisition pendant l'évaluation du mécanisme d'entraînement.
(JA) 状態判定装置は、基板処理装置において基板を保持しつつ動作させるように構成された駆動機構の状態を判定する。当該状態判定装置は、駆動機構の動作データを取得するように構成された取得部と、駆動機構の正常動作時において取得部によって取得された動作データに由来する正常動作データに基づいて、オートエンコーダを用いた機械学習を実行することによって、駆動機構の監視モデルを生成するように構成されたモデル生成部と、駆動機構の評価時において取得部によって取得された動作データに由来する評価データを監視モデルに入力して得られる第１の出力データに基づいて、駆動機構の状態を判定するように構成された第１の判定部とを備える。
