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1. WO2020196195 - 状態判定装置、状態判定方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体

公開番号 WO/2020/196195
公開日 01.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/012127
国際出願日 18.03.2020
IPC
G05B 23/02 2006.01
G物理学
05制御;調整
B制御系または調整系一般;このような系の機能要素;このような系または要素の監視または試験装置
23制御系またはその一部の試験または監視
02電気式試験または監視
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP]
発明者
  • 牧 準之輔 MAKI Junnosuke
  • 豊永 真臣 TOYONAGA Masaomi
  • 太田 敦 OHTA Atsushi
  • 岡田 基 OKADA Motoi
  • 筒井 拓郎 TSUTSUI Takuro
  • 佐野 圭 SANO Kei
  • 矢野 光輝 YANO Mitsuteru
代理人
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柏岡 潤二 KASHIOKA Junji
優先権情報
2019-05839126.03.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) STATE DETERMINATION DEVICE, STATE DETERMINATION METHOD, AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'ESTIMATION D'ÉTAT AINSI QUE SUPPORT D'ENREGISTREMENT LISIBLE PAR ORDINATEUR
(JA) 状態判定装置、状態判定方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体
要約
(EN)
A state determination device for determining the state of a drive mechanism configured so as to operate while holding a substrate in a substrate processing device. This state determination device is equipped with: an acquisition unit configured so as to acquire operational data for the drive mechanism; a model generation unit configured so as to generate a monitoring model for the drive mechanism by executing machine learning using an autoencoder on the basis of normal operational data that is derived from operational data acquired by the acquisition unit when the drive mechanism is operating normally; and a first determination unit configured so as to determine the state of the drive mechanism on the basis of first output data obtained by inputting, to the monitoring model, evaluation data that is derived from operational data obtained by the acquisition unit when the drive mechanism is being evaluated.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de détermination d'état servant à déterminer l'état d'un mécanisme d'entraînement conçu de façon à fonctionner tout en maintenant un substrat dans un dispositif de traitement de substrat. Le présent dispositif de détermination d'état est équipé : d'une unité d'acquisition configurée pour acquérir des données fonctionnelles du mécanisme d'entraînement ; d'une unité de génération de modèle configurée pour générer un modèle de surveillance du mécanisme d'entraînement par une exécution d'un apprentissage machine à l'aide d'un autocodeur sur la base de données fonctionnelles normales qui sont dérivées de données fonctionnelles acquises par l'unité d'acquisition lors du fonctionnement normal du mécanisme d'entraînement ; et d'une première unité de détermination configurée pour déterminer l'état du mécanisme d'entraînement sur la base de premières données de sortie obtenues par une entrée, dans le modèle de surveillance, de données d'évaluation qui sont dérivées de données fonctionnelles obtenues par l'unité d'acquisition pendant l'évaluation du mécanisme d'entraînement.
(JA)
状態判定装置は、基板処理装置において基板を保持しつつ動作させるように構成された駆動機構の状態を判定する。当該状態判定装置は、駆動機構の動作データを取得するように構成された取得部と、駆動機構の正常動作時において取得部によって取得された動作データに由来する正常動作データに基づいて、オートエンコーダを用いた機械学習を実行することによって、駆動機構の監視モデルを生成するように構成されたモデル生成部と、駆動機構の評価時において取得部によって取得された動作データに由来する評価データを監視モデルに入力して得られる第1の出力データに基づいて、駆動機構の状態を判定するように構成された第1の判定部とを備える。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報