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1. WO2020196130 - フィルム状接着剤及び半導体加工用シート

公開番号 WO/2020/196130
公開日 01.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/011877
国際出願日 18.03.2020
IPC
C09J 201/00 2006.01
C化学;冶金
09染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用
J接着剤;接着方法一般の非機械的観点;他に分類されない接着方法;物質の接着剤としての使用
201不特定の高分子化合物に基づく接着剤
H01L 21/52 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
50サブグループH01L21/06~H01L21/326の一つに分類されない方法または装置を用いる半導体装置の組立
52容器中への半導体本体のマウント
H01L 21/301 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30H01L21/20~H01L21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
301半導体本体を別個の部品に細分割するため,例.分離する
C09J 7/35 2018.01
C化学;冶金
09染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用
J接着剤;接着方法一般の非機械的観点;他に分類されない接着方法;物質の接着剤としての使用
7フィルム状または箔状の接着剤
30接着剤組成物に特徴のあるもの
35熱活性型
出願人
  • リンテック株式会社 LINTEC CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 田中 佑耶 TANAKA Yuya
代理人
  • 西澤 和純 NISHIZAWA Kazuyoshi
  • 五十嵐 光永 IGARASHI Koei
  • 加藤 広之 KATO Hiroyuki
優先権情報
2019-05499622.03.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) FILM ADHESIVE AND SHEET FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
(FR) ADHÉSIF FORMANT FILM ET FEUILLE POUR TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS
(JA) フィルム状接着剤及び半導体加工用シート
要約
(EN)
The present invention relates to a thermosetting film adhesive, wherein, by using a scanning probe microscope: when an area value x1 of a first region that corresponds to a convex section in a binarized image obtained by measuring the surface shape of the film adhesive before thermosetting, and an area value y1 of a second region outside the first region are determined, x1/y1 is 0 to 0.3; and when an area value x2 of a first region and an area value y2 of a second region outside the first region are similarly determined for the film adhesive after thermosetting, x2/y2 is greater than 0.3 and no more than 5.
(FR)
La présente invention concerne un film adhésif thermodurcissable, dans lequel, grâce à l’utilisation d’un microscope à sonde de balayage : lorsqu’une valeur de zone x1 d’une première région qui correspond à une section convexe dans une image binarisée, obtenue par mesure de la forme de surface du film adhésif avant le durcissement à la chaleur, et une valeur de zone y1 d’une seconde région à l’extérieur de la première région sont déterminées, x1/y1 est 0 à 0,3 ; lorsqu’une valeur de zone x2 d’une première région et une valeur de zone y2 d’une seconde région à l’extérieur de la première région sont déterminées de manière similaire pour le film adhésif après le durcissement à la chaleur, x2/y2 est supérieur à 0,3 et non supérieur à 5.
(JA)
本発明は、熱硬化性のフィルム状接着剤であって、走査型プローブ顕微鏡を用いて、熱硬化前の前記フィルム状接着剤の表面形状を測定して得られた二値化処理画像中の凸部に相当する第1領域の面積値xと、前記第1領域以外の第2領域の面積値yと、を求めたとき、x/yが0以上0.3以下であり、前記フィルム状接着剤の熱硬化物について、同様に第1領域の面積値xと、前記第1領域以外の第2領域の面積値yと、を求めたとき、x/yが0.3より大きく、5以下である、フィルム状接着剤に関する。
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