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1. WO2020195710 - 画像生成方法

公開番号 WO/2020/195710
公開日 01.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/009695
国際出願日 06.03.2020
IPC
H01J 37/22 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
22管と関連した光学または写真装置
H01L 21/66 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
G01N 23/2251 2018.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
23グループG01N3/00~G01N17/00,G01N21/00またはG01N22/00に包含されない波動性または粒子性放射線,例.X線,中性子線,の使用による材料の調査または分析
22材料からの二次放射の測定によるもの
225電子またはイオンマイクロプローブを用いるもの
2251電子ビームを入射するもの,例.走査型電子顕微鏡[2018.01]
出願人
  • TASMIT株式会社 TASMIT, INC. [JP]/[JP]
発明者
  • 丸山 浩太郎 MARUYAMA, Kotaro
代理人
  • 廣澤 哲也 HIROSAWA, Tetsuya
  • 渡邉 勇 WATANABE, Isamu
優先権情報
2019-06276728.03.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) IMAGE GENERATING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION D'IMAGE
(JA) 画像生成方法
要約
(EN)
This image generating method includes: selecting a clip region (C1) in which a pattern having a uniqueness value higher than a threshold exists; determining a first specific point (P1), which is a specific point existing in the selected clip region (C1); using a scanning electron microscope to generate an image of a first point (F1) on a chip identified by coordinates of the determined first specific point (P1); calculating a plurality of vectors (V1) representing a shift between the first specific point (P1) and the first point (F1) in the image; determining a second specific point (P5) in a clip region in which a pattern having a uniqueness value equal to or less than the threshold exists; and correcting the coordinates of the determined second specific point (P5) on the basis of the vectors (V1).
(FR)
L'invention concerne un procédé de génération d'image consistant à : sélectionner une région d'attache (C1) dans laquelle un motif ayant une valeur d'unicité supérieure à un seuil existe ; déterminer un premier point spécifique (P1), qui est un point spécifique existant dans la région d'attache sélectionnée (C1) ; utiliser un microscope électronique à balayage pour générer une image d'un premier point (F1) sur une puce identifiée par des coordonnées du premier point spécifique déterminé (P1) ; calculer une pluralité de vecteurs (V1) représentant un décalage entre le premier point spécifique (P1) et le premier point (F1) dans l'image ; déterminer un second point spécifique (P5) dans une région d'attache dans laquelle un motif ayant une valeur d'unicité inférieure ou égale au seuil existe ; et corriger les coordonnées du second point spécifique déterminé (P5) sur la base des vecteurs (V1).
(JA)
画像生成方法は、しきい値よりも高いユニークネス値を持つパターンが存在するクリップ領域(C1)を選択し、選択されたクリップ領域(C1)内に存在する特定点である第1特定点(P1)を決定し、決定された第1特定点(P1)の座標によって特定されるチップ上の第1の点(F1)の画像を走査電子顕微鏡で生成し、第1特定点(P1)と、画像上の第1の点(F1)とのずれを示す複数のベクトル(V1)を算出し、しきい値以下のユニークネス値を持つパターンが存在するクリップ領域内の第2特定点(P5)を決定し、決定された第2特定点(P5)の座標をベクトル(V1)に基づいて補正する。
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