(EN) With respect to a fine particle measurement system 3 in which a fine particle measurement device 17 is provided to a measurement pipe 15 through which ultrapure water (one example of treated water) flows, on the downstream side in the flowing direction of the ultrapure water relative to the fine particle measurement device 17, the fine particle measurement system 3 is cleaned by setting the flow rate of the ultrapure water as a first cleaning flow rate greater than the flow rate for measuring the number of fine particles.
(FR) Conformément à un système de mesure de particules fines 3 dans lequel un dispositif de mesure 17 de particules fines est disposé au niveau d'un conduit de mesure 15 dans lequel s'écoule de l'eau ultrapure (un exemple d'eau traitée), du côté aval dans le sens d'écoulement de l'eau ultrapure par rapport au dispositif de mesure 17 de particules fines, le système de mesure de particules fines 3 est nettoyé par un réglage du débit de l'eau ultrapure en tant que premier débit de nettoyage supérieur au débit de mesure du nombre de particules fines.
(JA) 超純水（被処理水の一例）が流れる測定用配管１５に微粒子測定装置１７が設けられた微粒子測定システム３に対し、微粒子測定装置１７よりも超純水の流れ方向の下流側で、超純水の流量を、微粒子数の測定用流量よりも多い第一洗浄用流量として微粒子測定システム３を洗浄する。