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1. WO2020195510 - 微粒子測定システムの洗浄方法及び超純水製造システム

公開番号 WO/2020/195510
公開日 01.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/007991
国際出願日 27.02.2020
IPC
G01N 15/06 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
15粒子の特徴の調査;多孔性材料の透過率,気孔量または表面積の調査
06懸濁質の濃度の調査
C02F 1/00 2006.01
C化学;冶金
02水,廃水,下水または汚泥の処理
F水,廃水,下水または汚泥の処理
1水,廃水または下水の処理
出願人
  • 野村マイクロ・サイエンス株式会社 NOMURA MICRO SCIENCE CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 永田 しおり NAGATA, Shiori
  • 丹治 輝 TANJI, Akira
  • 野口 幸男 NOGUCHI, Yukio
代理人
  • 特許業務法人太陽国際特許事務所 TAIYO, NAKAJIMA & KATO
優先権情報
2019-05550722.03.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) FINE PARTICLE MEASUREMENT SYSTEM CLEANING METHOD AND ULTRAPURE WATER PRODUCTION SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ DE NETTOYAGE DE SYSTÈME DE MESURE DE PARTICULES FINES ET SYSTÈME DE PRODUCTION D'EAU ULTRAPURE
(JA) 微粒子測定システムの洗浄方法及び超純水製造システム
要約
(EN)
With respect to a fine particle measurement system 3 in which a fine particle measurement device 17 is provided to a measurement pipe 15 through which ultrapure water (one example of treated water) flows, on the downstream side in the flowing direction of the ultrapure water relative to the fine particle measurement device 17, the fine particle measurement system 3 is cleaned by setting the flow rate of the ultrapure water as a first cleaning flow rate greater than the flow rate for measuring the number of fine particles.
(FR)
Conformément à un système de mesure de particules fines 3 dans lequel un dispositif de mesure 17 de particules fines est disposé au niveau d'un conduit de mesure 15 dans lequel s'écoule de l'eau ultrapure (un exemple d'eau traitée), du côté aval dans le sens d'écoulement de l'eau ultrapure par rapport au dispositif de mesure 17 de particules fines, le système de mesure de particules fines 3 est nettoyé par un réglage du débit de l'eau ultrapure en tant que premier débit de nettoyage supérieur au débit de mesure du nombre de particules fines.
(JA)
超純水(被処理水の一例)が流れる測定用配管15に微粒子測定装置17が設けられた微粒子測定システム3に対し、微粒子測定装置17よりも超純水の流れ方向の下流側で、超純水の流量を、微粒子数の測定用流量よりも多い第一洗浄用流量として微粒子測定システム3を洗浄する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報