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1. WO2020195385 - マイクロミラーデバイスおよびマイクロミラーデバイスの駆動方法

公開番号 WO/2020/195385
公開日 01.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/006638
国際出願日 19.02.2020
IPC
B81B 3/00 2006.01
B処理操作;運輸
81マイクロ構造技術
Bマイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
H01L 41/09 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
09電気的入力および機械的出力をもつもの
H01L 41/187 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
16材料の選択
18圧電または電歪素子用
187セラミック組成物
G02B 26/08 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
26可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08光の方向を制御するためのもの
G02B 26/10 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
26可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08光の方向を制御するためのもの
10走査系
CPC
B81B 3/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
G02B 26/08
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
G02B 26/10
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
10Scanning systems
H01L 41/09
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
09with electrical input and mechanical output ; , e.g. actuators, vibrators
H01L 41/187
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
16Selection of materials
18for piezo-electric or electrostrictive devices ; , e.g. bulk piezo-electric crystals
187Ceramic compositions ; , i.e. synthetic inorganic polycrystalline compounds incl. epitaxial, quasi-crystalline materials
出願人
  • 富士フイルム株式会社 FUJIFILM CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 直野 崇幸 NAONO, Takayuki
代理人
  • 特許業務法人太陽国際特許事務所 TAIYO, NAKAJIMA & KATO
優先権情報
2019-06365928.03.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) MICROMIRROR DEVICE AND METHOD FOR DRIVING MICROMIRROR DEVICE
(FR) DISPOSITIF À MICROMIROIR ET PROCÉDÉ DE PILOTAGE DE DISPOSITIF À MICROMIROIR
(JA) マイクロミラーデバイスおよびマイクロミラーデバイスの駆動方法
要約
(EN)
This micromirror device comprises first and second actuators, which are piezoelectric actuators comprising a piezoelectric element in which a lower electrode, a piezoelectric film, and an upper electrode are laminated on a vibration plate. Each of the upper electrodes in each of the piezoelectric elements comprises a plurality of individual electrode parts separated into: a first stress reversal region, in which the maximum-absolute-value principal stress component of the principal stress generated in the in-plane direction of the piezoelectric film undergoes a reversal between positive and negative in a state of maximum displacement when a mirror section is driven in a first resonance mode that causes tilt displacement around a first axis; and a second stress reversal region in which the maximum-absolute-value principal stress component of the principal stress generated in the in-plane direction of the piezoelectric film when the mirror section is driven in a second resonance mode that causes tilt displacement around a second axis undergoes a reversal between positive and negative. The piezoelectric elements include a plurality of piezoelectric parts defined by each of the plurality of individual electrode parts.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif à micromiroir comprenant des premier et second actionneurs, qui sont des actionneurs piézoélectriques comprenant un élément piézoélectrique dans lequel une électrode inférieure, un film piézoélectrique et une électrode supérieure sont stratifiés sur une plaque vibrante. Chacune des électrodes supérieures de chacun des éléments piézoélectriques comprend une pluralité de parties d'électrode individuelles divisées en : une première région d'inversion de contrainte, dans laquelle la composante de contrainte principale de valeur absolue maximale de la contrainte principale générée dans la direction dans le plan du film piézoélectrique subit une inversion entre positif et négatif dans un état de déplacement maximal lorsqu'une section de miroir est pilotée dans un premier mode de résonance qui provoque un déplacement d'inclinaison autour d'un premier axe ; et une seconde région d'inversion de contrainte dans laquelle la composante de contrainte principale de valeur absolue maximale de la contrainte principale générée dans la direction dans le plan du film piézoélectrique lorsque la section de miroir est pilotée dans un second mode de résonance qui provoque un déplacement d'inclinaison autour d'un second axe subit une inversion entre positif et négatif. Les éléments piézoélectriques comprennent une pluralité de parties piézoélectriques délimitées par chaque partie de la pluralité de parties d'électrode individuelles.
(JA)
マイクロミラーデバイスにおいて、振動板上に下部電極、圧電膜および上部電極が積層された圧電素子を備えた圧電アクチュエータである第1および第2アクチュエータを備える。各々の圧電素子は、各々の上部電極が、ミラー部に第1軸の周りに傾き変位を生じさせる第1共振モードで駆動させた場合の最大変位状態において、圧電膜の面内方向に生じる主応力のうち、絶対値が最大の主応力成分の正負が反転する第1応力反転領域、およびミラー部に第2軸周りに傾き変位を生じさせる第2共振モードで駆動させた場合に圧電膜の面内方向に生じる主応力のうち、絶対値が最大の主応力成分の正負が反転する第2応力反転領域で分離された複数の個別電極部からなり、複数の個別電極部の各々により規定される複数の圧電部を含む。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報