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1. WO2020195138 - 検査装置及び検査方法

公開番号 WO/2020/195138
公開日 01.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/003263
国際出願日 29.01.2020
IPC
H01L 21/66 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
G01N 21/64 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
62調査される材料が励起され,それにより光を発しまたは入射光の波長に変化を生ずるシステム
63光学的励起
64蛍光;燐光
H01L 33/00 2010.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
33光の放出に特に適用される少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有する半導体装置;それらの装置またはその部品の製造,あるいは処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
出願人
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
発明者
  • 中村 共則 NAKAMURA Tomonori
  • 池村 賢一郎 IKEMURA Kenichiro
  • 大高 章弘 OTAKA Akihiro
代理人
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi
優先権情報
2019-06296828.03.2019JP
2019-19992801.11.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D’INSPECTION
(JA) 検査装置及び検査方法
要約
(EN)
Provided is an inspection device for inspecting a sample having a plurality of light-emitting elements formed thereon, the inspection device comprising: an excitation light source which generates excitation light with which the sample is irradiated; a dichroic mirror which splits fluorescence from the sample by transmitting or reflecting the fluorescence depending on the wavelength thereof; a camera for capturing an image of the fluorescence reflected by the dichroic mirror; a camera for capturing an image of the fluorescence that has passed through the dichroic mirror; and a control device which, on the basis of a first fluorescence image obtained by camera and a second fluorescence image obtained by camera, derives color irregularity information of the light-emitting elements. In the dichroic mirror, an edge shift width, which is the width of a wavelength band in which transmittance and reflectance vary in accordance with a change in wavelength, is wider than a full width half maximum of a normal fluorescence spectrum of the light-emitting elements.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'inspection pour inspecter un échantillon ayant une pluralité d'éléments électroluminescents formés sur celui-ci, le dispositif d'inspection comprenant : une source de lumière d'excitation qui génère une lumière d'excitation avec laquelle l'échantillon est irradié ; un miroir dichroïque qui divise la fluorescence de l'échantillon par transmission ou réflexion de la fluorescence en fonction de sa longueur d'onde ; une caméra pour capturer une image de la fluorescence réfléchie par le miroir dichroïque ; une caméra pour capturer une image de la fluorescence qui a traversé le miroir dichroïque ; et un dispositif de commande qui, sur la base d'une première image de fluorescence obtenue par caméra et d'une seconde image de fluorescence obtenue par caméra, dérive des informations d'irrégularité de couleur des éléments électroluminescents. Dans le miroir dichroïque, une largeur de décalage de bord, qui est la largeur d'une bande de longueur d'onde dans laquelle la transmittance et la réflectance varient en fonction d'un changement de longueur d'onde, est plus large qu'un demi-maximum de largeur totale d'un spectre de fluorescence normal des éléments électroluminescents.
(JA)
検査装置は、複数の発光素子が形成されたサンプルを検査する検査装置であって、サンプルに照射される励起光を生成する励起光源と、サンプルからの蛍光を波長に応じて透過又は反射することにより分離するダイクロイックミラーと、ダイクロイックミラーにおいて反射された蛍光を撮像するカメラと、ダイクロイックミラーを透過した蛍光を撮像するカメラと、カメラによって取得された第1の蛍光画像と、カメラによって取得された第2の蛍光画像とに基づき、発光素子の色斑情報を導出する制御装置と、を備え、ダイクロイックミラーにおける、波長の変化に応じて透過率及び反射率が変化する波長帯の幅であるエッジ変移幅は、発光素子の正常蛍光スペクトルの半値全幅よりも広い。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報