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1. WO2020195137 - 検査装置及び検査方法

公開番号 WO/2020/195137
公開日 01.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/003249
国際出願日 29.01.2020
IPC
H01L 21/66 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
G01N 21/64 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
62調査される材料が励起され,それにより光を発しまたは入射光の波長に変化を生ずるシステム
63光学的励起
64蛍光;燐光
G01N 21/88 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
88きず,欠陥,または汚れの存在の調査
出願人
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
発明者
  • 中村 共則 NAKAMURA Tomonori
代理人
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi
優先権情報
2019-06298328.03.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D’INSPECTION
(JA) 検査装置及び検査方法
要約
(EN)
An inspection device that inspects samples in which are formed a plurality of light-emitting elements including first light-emitting elements and second light-emitting elements placed in the periphery of the first light-emitting elements, the inspection device comprising: an excitation light source that generates excitation light irradiated on the sample; a camera that images fluorescence from the sample; and an assessment unit of a control device that calculates relative luminance of the fluorescence from the first light-emitting element on the basis of the fluorescence from the first light-emitting element and fluorescence from the second light-emitting element imaged by the camera, and performs pass/fail assessment of the first light-emitting element by comparing a calculated value based on the absolute luminance and relative luminance of fluorescence from the first light-emitting element with a prescribed threshold value.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'inspection qui inspecte des échantillons dans lequel sont formés une pluralité d'éléments électroluminescents comprenant des premiers éléments électroluminescents et des seconds éléments électroluminescents placés dans la périphérie des premiers éléments électroluminescents, le dispositif d'inspection comprenant : une source de lumière d'excitation qui génère une lumière d'excitation irradiée sur l'échantillon ; une caméra qui capture une fluorescence à partir de l'échantillon ; et une unité d'évaluation d'un dispositif de commande qui calcule la luminance relative de la fluorescence provenant du premier élément électroluminescent sur la base de la fluorescence provenant du premier élément électroluminescent et de la fluorescence provenant du second élément électroluminescent imagé par la caméra, et effectue une évaluation de réussite/échec du premier élément électroluminescent par comparaison d'une valeur calculée sur la base de la luminance absolue et de la luminance relative de la fluorescence provenant du premier élément électroluminescent avec une valeur seuil prescrite.
(JA)
検査装置は、第1の発光素子及び該第1の発光素子の周辺に配置された第2の発光素子を含む複数の発光素子が形成されたサンプルを検査する検査装置であって、サンプルに照射される励起光を生成する励起光源と、サンプルからの蛍光を撮像するカメラと、カメラによって撮像された第1の発光素子からの蛍光及び第2の発光素子からの蛍光に基づいて、第1の発光素子からの蛍光の相対輝度を算出し、第1の発光素子からの蛍光の絶対輝度及び相対輝度に基づく算出値と所定の閾値とを比較することにより、第1の発光素子の良否判定を行う制御装置の判定部と、を備える。
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