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1. WO2020194635 - 検査装置

公開番号 WO/2020/194635
公開日 01.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/013466
国際出願日 27.03.2019
IPC
G09F 9/00 2006.01
G物理学
09教育;暗号方法;表示;広告;シール
F表示;広告;サイン;ラベルまたはネームプレート;シール
9情報が個々の要素の選択または組合せによって支持体上に形成される可変情報用の指示装置
G01R 31/28 2006.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
28電子回路の試験,例.シグナルトレーサーによるもの
H01L 27/32 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
271つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置
28能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる構成部品を含むもの
32光放出に特に適用される構成部品を有するもの,例.有機発光ダイオードを使用したフラットパネル・ディスプレイ
H01L 51/50 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
50光放出に特に適用されるもの,例.有機発光ダイオード(OLED)または高分子発光ダイオード(PLED)
H05B 33/10 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
B電気加熱;他に分類されない電気照明
33エレクトロルミネッセンス光源
10エレクトロルミネッセンス光源の製造に特に適用する装置または方法
出願人
  • シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP]
発明者
  • 北村 吉隆 KITAMURA, Yoshitaka
  • 岸本 克彦 KISHIMOTO, Katsuhiko
代理人
  • 特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION
(JA) 検査装置
要約
(EN)
This inspection device (2) is provided with an inspection stage (4) on which an inspection target is placed, the inspection device comprising: a vacuum chuck mechanism (6) for vacuum-suctioning the inspection target on the inspection stage; and a foreign substance capture sheet (8) that is provided on the inspection stage and comes into contact with the inspection target by the vacuum-suctioning of the inspection target on the inspection stage.
(FR)
Ce dispositif d'inspection (2) est pourvu d'un étage d'inspection (4) sur lequel une cible d'inspection est placée, le dispositif d'inspection comprenant : un mécanisme de mandrin à vide (6) pour aspirer sous vide la cible d'inspection sur l'étage d'inspection ; et une feuille de capture de substance étrangère (8) qui est disposée sur l'étage d'inspection et entre en contact avec la cible d'inspection par aspiration sous vide de la cible d'inspection sur l'étage d'inspection.
(JA)
検査装置(2)は、被検査物を載置する検査ステージ(4)を備えた検査装置であって、前記被検査物を前記検査ステージ上に真空吸着する真空チャック機構(6)と、前記検査ステージ上への前記被検査物の真空吸着により、前記被検査物と接する、前記検査ステージ上の異物捕捉シート(8)とを備える。
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