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1. WO2020194575 - 荷電粒子線装置

公開番号 WO/2020/194575
公開日 01.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/013177
国際出願日 27.03.2019
IPC
H01J 37/22 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
22管と関連した光学または写真装置
H01J 37/28 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
26電子またはイオン顕微鏡;電子またはイオン回折管
28走査ビームを有するもの
出願人
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 庄子 美南 SHOUJI Minami
  • 津野 夏規 TSUNO Natsuki
  • 太田 洋也 OHTA Hiroya
  • 備前 大輔 BIZEN Daisuke
代理人
  • 特許業務法人平木国際特許事務所 HIRAKI & ASSOCIATES
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
要約
(EN)
The purpose of the present invention is to provide a charged particle beam device that can increase the contrast of an observation image of a sample as much as possible according to light absorption characteristics that are changed for each optical parameter. The charged particle beam device according to the present invention changes an optical parameter such as a polarization plane of light with which the sample is irradiated, and generates the observation image having a contrast corresponding to the changed optical parameter. Furthermore, the optical parameter that maximizes the light absorption coefficient of the sample is specified according to a feature amount of the shape pattern of the sample (see FIG. 5).
(FR)
L'objectif de la présente invention est de fournir un dispositif à faisceau de particules chargées qui peut augmenter le contraste d'une image d'observation d'un échantillon autant que possible en fonction des caractéristiques d'absorption de lumière qui sont modifiées pour chaque paramètre optique. Le dispositif à faisceau de particules chargées selon la présente invention modifie un paramètre optique tel qu'un plan de polarisation de lumière au moyen duquel l'échantillon est exposé aux rayons, et génère l'image d'observation ayant un contraste correspondant au paramètre optique modifié. En outre, le paramètre optique qui maximise le coefficient d'absorption de lumière de l'échantillon est spécifié en fonction d'une quantité caractéristique du motif de forme de l'échantillon (voir FIG. 5).
(JA)
本発明は、光パラメータごとに変化する光の吸収特性にしたがって、試料の観察像のコントラストをできる限り高めることができる、荷電粒子線装置を提供することを目的とする。本発明に係る荷電粒子線装置は、試料に対して照射する光の偏光面などの光パラメータを変化させ、変化させた光パラメータに対応するコントラストを有する観察像を生成する。また、試料の形状パターンの特徴量に応じて、試料の光吸収係数が最大となるような光パラメータを特定する(図5参照)。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報