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1. WO2020194491 - 欠陥検査装置

公開番号 WO/2020/194491
公開日 01.10.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/012746
国際出願日 26.03.2019
予備審査請求日 30.01.2020
IPC
G01N 21/956 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
88きず,欠陥,または汚れの存在の調査
95調査対象物の材質や形に特徴付けられるもの
956物体表面のパターンの検査
出願人
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 保坂 誠 HOSAKA Makoto
  • 浦野 雄太 URANO Yuta
代理人
  • ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) DEFECT INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE DÉFAUT
(JA) 欠陥検査装置
要約
(EN)
Provided is a defect inspection device having an autofocus optical system suitable for dark-field observation. This defect inspection device comprises a detection optical system 170 for converging scattered light from a sample, a first detector 106 for detecting the scattered light converged by the detection optical system, an autofocusing optical system for generating a focusing error signal indicating focusing-direction positional deviation of the sample, and a dichroic mirror 124. The autofocusing optical system comprises a second light source unit 121 for emitting servo light having a different wavelength than illumination light and a second detector 126 for directing the servo light onto the sample and detecting reflected light converged by the detection optical system. The scattered light is transmitted or reflected by a dichroic mirror and strikes the first detector. The reflected light is reflected or transmitted by the dichroic mirror and strikes the second detector. The focusing error signal is generated on the basis of the reflected light detected by the second detector of the autofocusing optical system.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'inspection de défaut ayant un système optique de mise au point automatique approprié pour une observation en champ sombre. Ce dispositif d'inspection de défaut comprend un système optique de détection 170 pour faire converger une lumière diffusée à partir d'un échantillon, un premier détecteur 106 pour détecter la lumière diffusée amenée à converger par le système optique de détection, un système optique de mise au point automatique pour générer un signal d'erreur de focalisation indiquant un écart de position de direction de focalisation de l'échantillon, et un miroir dichroïque 124. Le système optique de mise au point automatique comprend une seconde unité de source de lumière configurée pour émettre une lumière d'asservissement ayant une longueur d'onde différente de la lumière d'éclairage et un second détecteur configuré pour diriger la lumière d'asservissement sur l'échantillon et détecter la lumière réfléchie amenée à converger par le système optique de détection. La lumière diffusée est transmise ou réfléchie par un miroir dichroïque et frappe le premier détecteur. La lumière réfléchie est réfléchie ou transmise par le miroir dichroïque et frappe le second détecteur. Le signal d'erreur de focalisation est généré sur la base de la lumière réfléchie détectée par le second détecteur du système optique de mise au point automatique.
(JA)
暗視野観察に適したオートフォーカス光学系を有する欠陥検査装置を提供する。欠陥検査装置は、試料からの散乱光を集光する検出光学系170と、検出光学系により集光した散乱光を検出する第1の検出器106と、試料のフォーカス方向の位置ずれを示すフォーカシング誤差信号を生成するオートフォーカス光学系と、ダイクロミラー124とを有し、オートフォーカス光学系は、照明光とは異なる波長のサーボ光を出射する第2の光源部121と、サーボ光を試料に照射し、検出光学系により集光した反射光を検出する第2の検出器126とを備え、散乱光はダイクロミラーを透過または反射して第1の検出器に入射され、反射光はダイクロミラーを反射または透過して第2の検出器に入射され、フォーカシング誤差信号は、オートフォーカス光学系の第2の検出器で検出した反射光に基づき生成される。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報