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1. WO2020189329 - ホルダおよび荷電粒子線装置

公開番号 WO/2020/189329
公開日 24.09.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/009621
国際出願日 06.03.2020
IPC
H01J 37/20 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
20物体または材料を支持しまたは位置づける手段;支持体に関連した隔膜壁またはレンズを調節する手段
H01J 37/244 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
244検出器;関連の構成要素またはそのための回路
CPC
H01J 2237/20214
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
202Movement
20214Rotation
H01J 2237/2443
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
244Detection characterized by the detecting means
2443Scintillation detectors
H01J 2237/2445
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
244Detection characterized by the detecting means
2445Photon detectors for X-rays, light, e.g. photomultipliers
H01J 37/20
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
20Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
H01J 37/222
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
22Optical or photographic arrangements associated with the tube
222Image processing arrangements associated with the tube
H01J 37/224
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
22Optical or photographic arrangements associated with the tube
224Luminescent screens or photographic plates for imaging
出願人
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 細谷 幸太郎 HOSOYA, Kotaro
代理人
  • 特許業務法人筒井国際特許事務所 TSUTSUI & ASSOCIATES
優先権情報
16/357,79619.03.2019US
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) HOLDER AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) SUPPORT ET DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) ホルダおよび荷電粒子線装置
要約
(EN)
Provided is a holder by which a bright-field image or a dark-field image of an object to be observed can be accurately obtained. The holder (HL) has a top member (HLt), a side member (HLs), and a bottom member (HLb). The top member (HLt) has a hole (TH1) for passing a charged particle beam, and a sample can be mounted in the hole (TH1). The bottom member (HLb) is provided so as to overlap the top member (HLt) in a plan view. The side member (HLs) is connected to a part of the top member (HLt) and a part of the bottom member (HLb) so that the top member (HLt) and the bottom member (HLb) are separated from each other in a cross-sectional view. An opening (OP) is a region surrounded by the top member (HLt), the side member (HLs), and the bottom member (HLb), and a scintillator (SC1) is provided in the opening (OP).
(FR)
L'invention concerne un support par lequel une image de champ lumineux ou une image de champ sombre d'un objet à observer peut être obtenue avec précision. Le support (HL) comporte un élément supérieur (HLt), un élément latéral (HLs) et un élément inférieur (HLb). L'élément supérieur (HLt) comporte un trou (TH1) pour faire passer un faisceau de particules chargées, et un échantillon peut être monté dans le trou (TH1). L'élément inférieur (HLb) est disposé de façon à chevaucher l'élément supérieur (HLt) dans une vue en plan. L'élément latéral (HLs) est relié à une partie de l'élément supérieur (HLt) et à une partie de l'élément inférieur (HLb)) de telle sorte que l'élément supérieur (HLt) et l'élément inférieur (HLb) sont séparés l'un de l'autre dans une vue en coupe transversale. Une ouverture (OP) est une région entourée par l'élément supérieur (HLt), l'élément latéral (HLs) et l'élément inférieur (HLb), et un scintillateur (SC1) est disposé dans l'ouverture (OP).
(JA)
観察対象となる試料の明視野像または暗視野像が、精度よく得られるようなホルダを提供する。ホルダ(HL)は、上部材(HLt)、側部材(HLs)および底部材(HLb)を有する。上部材(HLt)は、荷電粒子線を通過させるための孔(TH1)を有し、且つ、孔(TH1)内において試料を搭載させることができる。底部材(HLb)は、上部材(HLt)と平面視において重なるように設けられている。側部材(HLs)は、上部材(HLt)および底部材(HLb)が断面視において互いに離間するように、上部材(HLt)の一部および底部材(HLb)の一部に接続されている。開口部(OP)は、上部材(HLt)、側部材(HLs)および底部材(HLb)に囲まれた領域であり、開口部(OP)内には、シンチレータ(SC1)が設けられている。
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