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1. WO2020183735 - 良否判定装置および良否判定方法

公開番号 WO/2020/183735
公開日 17.09.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/010711
国際出願日 14.03.2019
IPC
G01N 21/88 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
88きず,欠陥,または汚れの存在の調査
G06T 7/00 2017.01
G物理学
06計算;計数
Tイメージデータ処理または発生一般
7イメージ分析
H05K 13/08 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
K印刷回路;電気装置の箱体または構造的細部,電気部品の組立体の製造
13電気部品の組立体の製造または調整に特に適した装置または方法
08組立体の製造の監視
CPC
G01N 21/88
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
G06T 7/00
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
H05K 13/08
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
13Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
08Monitoring manufacture of assemblages
出願人
  • 株式会社FUJI FUJI CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 鬼頭 秀一郎 KITO Shuichiro
  • 西田 賢志郎 NISHIDA Kenshiro
  • 小野 恵市 ONO Keiichi
代理人
  • 特許業務法人 共立 KYORITSU INTERNATIONAL
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) QUALITY DETERMINATION DEVICE AND QUALITY DETERMINATION METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE QUALITÉ
(JA) 良否判定装置および良否判定方法
要約
(EN)
This quality determination device is equipped with a storage unit, an acquisition unit, and a quality determination unit. The distribution of a plurality of base feature amounts at the time of extraction, from each base image, of a base feature amount that is an overall image feature amount is set as a feature amount distribution. At such time, the storage unit associates together and stores, in a storage device, image-related information that is at least one among the base images and the feature amount distribution, and search information that enables searching of the image-related information and includes the acquisition conditions at the time of acquisition of the base images. The acquisition unit acquires, from the storage device, image-related information that is associated with the search information that includes acquisition conditions matching the acquisition conditions of an object image captured of an object during substrate work by an imaging device of a substrate work machine. The quality determination unit uses the image-related information acquired by the acquisition unit to determine the quality of substrate work performed at the time of acquisition of the object image.
(FR)
L'invention concerne un dispositif serveur doté d'une unité de stockage, d'une unité d'acquisition et d'une unité de détermination de qualité. La distribution d'une pluralité de quantités de caractéristiques de base au moment de l'extraction, à partir de chaque image de base, d'une quantité de caractéristiques de base qui est une quantité de caractéristiques d'image globale est définie en tant que distribution de quantité de caractéristiques. À un tel moment, l'unité de stockage associe et stocke, dans un dispositif de stockage, des informations relatives à l'image qui figurent au moins parmi les images de base et la distribution de quantité de caractéristiques, et des informations de recherche qui permettent la recherche des informations relatives à l'image et comprennent les conditions d'acquisition au moment de l'acquisition des images de base. L'unité d'acquisition acquiert, à partir du dispositif de stockage, des informations relatives à l'image qui sont associées aux informations de recherche qui comprennent des conditions d'acquisition correspondant aux conditions d'acquisition d'une image d'objet capturée pendant un travail de substrat par un dispositif d'imagerie d'une machine de travail de substrat. L'unité de détermination de qualité utilise les informations relatives à l'image acquises par l'unité d'acquisition pour déterminer la qualité du travail de substrat effectué au moment de l'acquisition de l'image d'objet.
(JA)
良否判定装置は、記憶部と、取得部と、良否判断部とを備える。ここで、基準画像の各画像について画像全体の特徴量である基準特徴量が抽出されたときの複数の基準特徴量の分布を特徴量分布とする。このとき、記憶部は、基準画像および特徴量分布のうちの少なくとも一方である画像関連情報と、画像関連情報を検索可能な情報であって基準画像が取得されたときの取得条件を含む検索情報と、を関連付けて記憶装置に記憶させる。取得部は、対基板作業機の撮像装置が対基板作業において対象物を撮像した対象画像の取得条件と一致する取得条件を含む検索情報に関連付けられている画像関連情報を、記憶装置から取得する。良否判断部は、取得部によって取得された画像関連情報を用いて、対象画像を取得したときの対基板作業の良否を判断する。
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