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1. WO2020171151 - 検査治具

公開番号 WO/2020/171151
公開日 27.08.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/006673
国際出願日 20.02.2020
IPC
H01L 21/66 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
G01R 1/067 2006.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02一般的な構造の細部
06測定用導線;測定用探針
067測定用探針
G01R 1/073 2006.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02一般的な構造の細部
06測定用導線;測定用探針
067測定用探針
073複合探針
CPC
G01R 1/067
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
02General constructional details
06Measuring leads; Measuring probes
067Measuring probes
G01R 1/073
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
02General constructional details
06Measuring leads; Measuring probes
067Measuring probes
073Multiple probes
出願人
  • 日本電産リード株式会社 NIDEC-READ CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 戒田 理夫 KAIDA Michio
代理人
  • 特許業務法人 佐野特許事務所 SANO PATENT OFFICE
優先権情報
2019-03100222.02.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) TEST JIG
(FR) GABARIT DE TEST
(JA) 検査治具
要約
(EN)
This test jig comprises contact terminals and a pitch converting unit which is electrically connected to the contact terminals and converts a first pitch between the contact terminals into a second pitch different from the first pitch. The contact terminals each include an electrically conductive tubular body extending in an axial direction of the contact terminals, and an electrically conductive rod-like conductor. The tubular body includes a spring portion configured in a spiral shape and disposed along the circumferential surface of the tubular body. The conductor includes a non-inserted portion protruding from the tubular body toward one side in the axial direction, and an inserted portion disposed inside the tubular body and fixed to an end portion of the tubular body on one side in the axial direction. The pitch converting unit includes a substrate portion having a surface perpendicular to the axial direction, and an electrically conductive protruding portion protruding from the surface toward one side in the axial direction and mated with an end portion of the tubular body on the other side in the axial direction.
(FR)
L'invention concerne un gabarit de test comprenant des bornes de contact et une unité de conversion de pas qui est connectée électriquement aux bornes de contact et convertit un premier pas entre les bornes de contact en un second pas différent du premier pas. Les bornes de contact comprennent chacune un corps tubulaire électriquement conducteur s'étendant dans une direction axiale des bornes de contact, et un conducteur de type tige électriquement conducteur. Le corps tubulaire comprend une partie de ressort configurée en forme de spirale et disposée le long de la surface circonférentielle du corps tubulaire. Le conducteur comprend une partie non insérée faisant saillie depuis le corps tubulaire vers un côté dans la direction axiale, et une partie insérée disposée à l'intérieur du corps tubulaire et fixée à une partie d'extrémité du corps tubulaire sur un côté dans la direction axiale. L'unité de conversion de pas comprend une partie substrat ayant une surface perpendiculaire à la direction axiale, et une partie saillante électriquement conductrice faisant saillie de la surface vers un côté dans la direction axiale et accouplée à une partie d'extrémité du corps tubulaire de l'autre côté dans la direction axiale.
(JA)
接触端子と、前記接触端子と電気的に接続されて前記接触端子間の第1ピッチを前記第1ピッチと異なる第2ピッチへ変換するピッチ変換ユニットと、を備え、前記接触端子は、前記接触端子の軸方向に延びて導電性を有する筒状体と、導電性を有する棒状の導体と、を有し、前記筒状体は、前記筒状体の周面に沿う螺旋状に構成されるばね部を有し、前記導体は、前記筒状体より前記軸方向一方側に突出する非挿入部と、前記筒状体内部に配置されて前記筒状体の前記軸方向一方側端部に固定される挿入部と、を有し、前記ピッチ変換ユニットは、前記軸方向に垂直な表面を有する基板部と、前記表面より前記軸方向一方側に突出して導電性を有し、前記筒状体の前記軸方向他方側端部と嵌合される突出部と、を有する、検査治具。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報