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1. WO2020170350 - ガスレーザ装置、ガスレーザ装置のレーザ光の出射方法、及び電子デバイスの製造方法

公開番号 WO/2020/170350
公開日 27.08.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/006241
国際出願日 20.02.2019
IPC
H01S 3/036 2006.01
H電気
01基本的電気素子
S光を増幅または生成するために,放射の誘導放出による光増幅を用いた装置;光領域以外の電磁放射の誘導放出を用いた装置
3レーザ,すなわち赤外線,可視光または紫外線領域での電磁放射の誘導放出を用いた装置
02構造的な細部
03ガスレーザ放電管
036管の中の望ましいガス圧力を取得または維持するための手段,例.残留ガスの除去または補充;ガスを循環させるための手段,例.管の中の圧力を均等にするためのもの
CPC
H01S 3/036
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
02Constructional details
03of gas laser discharge tubes
036Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
出願人
  • ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP]/[JP]
発明者
  • 手井 大輔 TEI Daisuke
代理人
  • 森村靖男 MORIMURA Yasuo
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) GAS LASER APPARATUS, LASER LIGHT EMITTING METHOD FOR GAS LASER APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICE
(FR) APPAREIL LASER À GAZ, PROCÉDÉ D'ÉLECTROLUMINESCENCE DE LASER POUR APPAREIL LASER À GAZ ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
(JA) ガスレーザ装置、ガスレーザ装置のレーザ光の出射方法、及び電子デバイスの製造方法
要約
(EN)
This gas laser apparatus is provided with: a chamber in which a laser gas is sealed; a window provided in the chamber and transmitting laser light; an optical path tube which surrounds the location of the chamber where the window is provided, and which is connected to the chamber; a gas supply port for supplying a purge gas into the optical path tube; an exhaust port for exhausting the gas in the optical path tube; and a control unit. The exhaust port includes: a main exhaust port provided in the optical path tube so as to cause the gas to flow over a surface of the window; and a sub-exhaust port provided in the optical path tube upstream of a flow of gas in the optical path tube with respect to the location where the window is provided and the location where the main exhaust port is provided. The control unit may cause the gas to be exhausted from the main exhaust port before laser light is emitted from the chamber, and may cause the gas to be exhausted from the sub-exhaust port in at least a partial period in which laser light is emitted from the chamber.
(FR)
L'invention concerne un appareil laser à gaz comprenant : une chambre dans laquelle un gaz laser est scellé ; une fenêtre disposée dans la chambre et transmettant la lumière laser ; un tube de trajet optique qui entoure l'emplacement de la chambre où la fenêtre est prévue, et qui est relié à la chambre ; un orifice d'alimentation en gaz pour fournir un gaz de purge dans le tube de trajet optique ; un orifice d'échappement pour évacuer le gaz dans le tube de trajet optique ; et une unité de commande. L'orifice d'échappement comprend : un orifice d'échappement principal disposé dans le tube de trajet optique de façon à amener le gaz à s'écouler sur une surface de la fenêtre ; et un orifice de sous-échappement disposé dans le tube de trajet optique en amont d'un écoulement de gaz dans le tube de trajet optique par rapport à l'emplacement où la fenêtre est prévue et l'emplacement où l'orifice d'échappement principal est prévu. L'unité de commande peut amener le gaz à être évacué de l'orifice d'échappement principal avant que la lumière laser ne soit émise à partir de la chambre, et peut amener le gaz à être évacué de l'orifice de sous-échappement dans au moins une période partielle dans laquelle une lumière laser est émise à partir de la chambre.
(JA)
ガスレーザ装置は、レーザガスが封入されるチャンバと、チャンバに設けられレーザ光が透過するウィンドウと、チャンバにおけるウィンドウが設けられる位置を囲んでチャンバに接続される光路管と、光路管内にパージガスを供給するガス供給口と、光路管内のガスを排気する排気口と、制御部と、を備え、排気口は、ガスがウィンドウの表面を流れるように光路管に設けられる主排気口と、ウィンドウが設けられる位置及び主排気口が設けられる位置よりも光路管内におけるガスの流れの上流側において光路管に設けられる副排気口と、を含み、制御部は、チャンバからレーザ光が出射される前において主排気口からガスを排気させ、チャンバからレーザ光が出射される少なくとも一部の期間において副排気口からガスを排気させてもよい。
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