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1. WO2020166702 - 洗浄剤組成物及び洗浄方法

公開番号 WO/2020/166702
公開日 20.08.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/005808
国際出願日 14.02.2020
IPC
H01L 21/304 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30H01L21/20~H01L21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
C11D 7/32 2006.01
C化学;冶金
11動物性または植物性油,脂肪,脂肪性物質またはろう;それに由来する脂肪酸;洗浄剤;ろうそく
D洗浄性組成物;単一物質の洗浄剤としての使用;石けんまたは石けん製造;樹脂石けん;グリセリンの回収
7本質的に非表面活性化合物を基とする洗浄剤組成物
22有機化合物
32窒素を含むもの
C11D 7/50 2006.01
C化学;冶金
11動物性または植物性油,脂肪,脂肪性物質またはろう;それに由来する脂肪酸;洗浄剤;ろうそく
D洗浄性組成物;単一物質の洗浄剤としての使用;石けんまたは石けん製造;樹脂石けん;グリセリンの回収
7本質的に非表面活性化合物を基とする洗浄剤組成物
50溶剤
CPC
C11D 7/32
CCHEMISTRY; METALLURGY
11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
DDETERGENT COMPOSITIONS
7Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
22Organic compounds
32containing nitrogen
C11D 7/50
CCHEMISTRY; METALLURGY
11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
DDETERGENT COMPOSITIONS
7Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
50Solvents
H01L 21/304
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
04the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
18the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
30Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
302to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
304Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
出願人
  • 日産化学株式会社 NISSAN CHEMICAL CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 荻野 浩司 OGINO, Hiroshi
  • 新城 徹也 SHINJO, Tetsuya
  • 柄澤 涼 KARASAWA, Ryo
  • 奥野 貴久 OKUNO, Takahisa
代理人
  • 栗原浩之 KURIHARA, Hiroyuki
  • 山▲崎▼雄一郎 YAMAZAKI, Yuichiro
優先権情報
2019-02605215.02.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CLEANING AGENT COMPOSITION AND CLEANING METHOD
(FR) COMPOSITION D'AGENT DE NETTOYAGE ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE
(JA) 洗浄剤組成物及び洗浄方法
要約
(EN)
A cleaning agent composition that can be used to remove a polysiloxane adhesive remaining on a substrate, said composition comprising a tetra (hydrocarbon) ammonium fluoride and an organic solvent, wherein the organic solvent includes an alkylene glycol dialkyl ether and a lactam compound represented by formula (1). [Formula 1] (Therein, R101 represents a C1-6 alkyl group, and R102 represents a C1-6 alkylene group.)
(FR)
L'invention concerne une composition d'agent de nettoyage qui peut être utilisée pour éliminer un adhésif polysiloxane restant sur un substrat, ladite composition comprenant un fluorure de tétra(hydrocarbure) d'ammonium et un solvant organique, le solvant organique comprenant un éther dialkylique d'alkylène glycol et un composé lactame représenté par la formule (1). [Formule 1] (Dans celle-ci, R101 représente un groupe alkyle en C1-6, et R102 représente un groupe alkylène en C1-6.)
(JA)
基体上に残留するポリシロキサン系接着剤を除去するために用いられる洗浄剤組成物であって、フッ化テトラ(炭化水素)アンモニウムと、有機溶媒とを含み、上記有機溶媒が、アルキレングリコールジアルキルエーテル及び式(1)で表されるラクタム化合物を含む。 【化1】(式中、R101は、炭素数1~6のアルキル基を表し、R102は、炭素数1~6のアルキレン基を表す。)
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