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1. WO2020165959 - 多金属微粒子の製造方法及び多金属微粒子薄膜の製造方法

公開番号 WO/2020/165959
公開日 20.08.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/004921
国際出願日 12.02.2019
IPC
C23C 14/14 2006.01
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
06被覆材料に特徴のあるもの
14金属質材料,ほう素またはけい素
B22F 9/14 2006.01
B処理操作;運輸
22鋳造;粉末冶金
F金属質粉の加工;金属質粉からの物品の製造;金属質粉の製造;金属質粉に特に適する装置または機械
9金属質粉またはその懸濁液の製造;それに特に適する装置または機械
02物理的プロセスを用いるもの
14放電を用いるもの
CPC
B22F 9/14
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
22CASTING; POWDER METALLURGY
FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER
9Making metallic powder or suspensions thereof
02using physical processes
14using electric discharge
C23C 14/14
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
06characterised by the coating material
14Metallic material, boron or silicon
出願人
  • 齊藤 公章 SAITO, Kimiaki [JP]/[JP]
発明者
  • 齊藤 公章 SAITO, Kimiaki
  • 齊藤 元章 SAITO, Motoaki
代理人
  • 黒田 健二 KURODA, Kenji
  • 松本 孝 MATSUMOTO, Takashi
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) METHOD FOR PRODUCING MULTI-METAL FINE PARTICLES AND METHOD FOR PRODUCING MULTI-METAL FINE PARTICLE THIN FILM
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE PARTICULES FINES MULTI-MÉTALLIQUES ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE FILM MINCE DE PARTICULES FINES MULTI-MÉTALLIQUES
(JA) 多金属微粒子の製造方法及び多金属微粒子薄膜の製造方法
要約
(EN)
A method for producing multi-metal fine particles in which two or more kinds of metal elements are mixed comprises: installing a target group including a first target made of a first metal or alloy and a second target made of a second metal or alloy, the second target being arranged inside a chamber with respect to the first target; making gas particles to collide with the target group in the chamber to separate two or more kinds of metal atoms, metal fine particles, and/or alloy fine particles from the target group; and synthesizing multi-metal fine particles from the separated two or more kinds of metal atoms, metal fine particles, and/or alloy fine particles in the chamber. The second target is provided with a plurality of openings through which the gas particles and the metal atoms, the metal fine particles, and/or the alloy fine particles pass. The target group may further include a third target made of a third metal or alloy arranged inside the chamber with respect to the second target, and the third target is provided with a plurality of openings through which the gas particles and the metal atoms, the metal fine particles, and/or the alloy fine particles pass.
(FR)
L'invention concerne un procédé de production de particules fines multi-métalliques, dans lequel sont mélangés au moins deux types d'éléments métalliques, qui consiste à : installer un groupe cible comprenant une première cible constituée d'un premier métal ou alliage et une deuxième cible constituée d'un deuxième métal ou alliage, la deuxième cible étant disposée à l'intérieur d'une chambre par rapport à la première cible ; préparer des particules de gaz destinées à entrer en collision avec le groupe cible dans la chambre pour séparer au moins deux types d'atomes métalliques, de particules fines métalliques et/ou de particules fines d'alliage présents dans le groupe cible ; et synthétiser les particules fines multi-métalliques à partir des au moins deux types séparés d'atomes métalliques, de particules fines métalliques et/ou de particules fines d'alliage dans la chambre. La deuxième cible est pourvue d'une pluralité d'ouvertures à travers lesquelles passent les particules de gaz et les atomes métalliques, les particules fines métalliques et/ou les particules fines d'alliage. Le groupe cible peut en outre comprendre une troisième cible constituée d'un troisième métal ou alliage disposée à l'intérieur de la chambre par rapport à la deuxième cible, et la troisième cible est pourvue d'une pluralité d'ouvertures à travers lesquelles passent les particules de gaz et les atomes métalliques, les particules fines métalliques et/ou les particules fines d'alliage.
(JA)
2種以上の金属元素を混ぜ合わせた多金属微粒子の製造方法は、第1の金属又は合金からなる第1のターゲットと、第1のターゲットに対してチャンバー内側に配置される第2の金属又は合金からなる第2のターゲットとを含むターゲット群を、チャンバー内に設置することと、チャンバー内においてガス粒子をターゲット群に衝突させて2種以上の金属原子、金属微粒子、及び/又は合金微粒子をターゲット群から分離させることと、チャンバー内において、分離した2種以上の金属原子、金属微粒子、及び/又は合金微粒子から多金属微粒子を合成することとを含む。第2のターゲットにはガス粒子と、前記金属原子、金属微粒子、及び/又は合金微粒子とが通過する複数の開口部が設けられている。ターゲット群は、第2のターゲットに対してチャンバー内側に配置される第3の金属又は合金からなる第3のターゲットをさらに含んでよく、第3のターゲットにはガス粒子と、金属原子、金属微粒子、及び/又は合金微粒子とが通過する複数の開口部が設けられている。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報