(EN) This mask adapter is used in an exposure device that illuminates a mask supported on a stage and exposes a pattern formed in the mask, on to a substrate. The mask adapter is attached to the mask and comprises: a main body having a support section that supports the mask outside a region in which the pattern has been formed and a supported section supported by the stage; and a first section for detection, upon the main body and detectable by a detection unit in the exposure device. The first section for detection includes information pertaining to the mask adapter.
(FR) La présente invention concerne un adaptateur de masque utilisé dans un dispositif d'exposition qui éclaire un masque supporté sur une platine et qui expose un motif formé dans le masque, sur un substrat. L'adaptateur de masque est fixé au masque et comprend : un corps principal doté d'une section de support qui supporte le masque à l'extérieur d'une région dans laquelle le motif a été formé et d'une section supportée qui est supportée par la platine ; et une première section de détection située sur le corps principal et détectable par une unité de détection se trouvant dans le dispositif d'exposition. La première section de détection comprend des informations relatives à l'adaptateur de masque.
(JA) 本発明のマスクアダプタの一つの態様は、ステージに支持されたマスクを照明し、前記マスクに形成されたパターンを基板上に露光する露光装置で使用され、前記マスクに取り付けられるマスクアダプタであって、前記パターンが形成された領域外で前記マスクを支持する支持部と、前記ステージに支持される被支持部と、を有する本体部と、前記本体部上であって、前記露光装置の検出部によって検出可能な第１被検出部と、を備え、前記第１被検出部は、前記マスクアダプタに関する情報を含む。