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1. WO2020158261 - 画像マッチング判定方法、画像マッチング判定装置、および画像マッチング判定方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

公開番号 WO/2020/158261
公開日 06.08.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/050631
国際出願日 24.12.2019
IPC
G06T 7/00 2017.01
G物理学
06計算;計数
Tイメージデータ処理または発生一般
7イメージ分析
H01L 21/66 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
CPC
G06T 7/00
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
出願人
  • TASMIT株式会社 TASMIT, INC. [JP]/[JP]
発明者
  • 中澤 伸一 NAKAZAWA, Shinichi
  • 芳賀 継彦 HAGA, Tsugihiko
代理人
  • 廣澤 哲也 HIROSAWA, Tetsuya
  • 渡邉 勇 WATANABE, Isamu
優先権情報
2019-01354529.01.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) IMAGE-MATCHING DETERMINATION METHOD, IMAGE-MATCHING DETERMINATION DEVICE, AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM ON WHICH PROGRAM FOR EXECUTING IMAGE-MATCHING DETERMINATION METHOD ON COMPUTER IS RECORDED
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE CORRESPONDANCE D'IMAGE, DISPOSITIF DE DÉTERMINATION DE CORRESPONDANCE D'IMAGE, ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT LISIBLE PAR ORDINATEUR SUR LEQUEL EST ENREGISTRÉ UN PROGRAMME POUR EXÉCUTER UN PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE CORRESPONDANCE D'IMAGE SUR ORDINATEUR
(JA) 画像マッチング判定方法、画像マッチング判定装置、および画像マッチング判定方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
要約
(EN)
An image-matching determination method wherein: an object having a pattern created on the basis of a CAD pattern in design data is transferred to a prescribed imaging position by a transfer stage; a real image of the pattern of the object at the prescribed imaging position is generated; a movement vector of the transfer stage is calculated; a matching process is carried out on the CAD pattern and the pattern on the real image; an amount of deviation between the CAD pattern and the pattern on the real image is calculated; shape data of the CAD pattern, the amount of deviation, and the movement vector of the transfer stage are input to a model constructed by machine learning; a calculation is performed in accordance with an algorithm defined by the model; and an index value indicating whether the matching process has succeeded or has failed is output from the model.
(FR)
La présente invention concerne un procédé de détermination de correspondance d'image comprenant les étapes consistant à : transférer un objet ayant un motif créé sur la base d'un motif de CAO dans des données de conception vers une position d'imagerie prescrite par un étage de transfert ; générer une image réelle du motif de l'objet à la position d'imagerie prescrite ; calculer un vecteur de mouvement de l'étage de transfert ; exécuter un processus de correspondance sur le motif de CAO et le motif sur l'image réelle ; calculer une quantité d'écart entre le motif de CAO et le motif sur l'image réelle ; entrer des données de forme du motif de CAO, la quantité d'écart et le vecteur de mouvement de l'étage de transfert dans un modèle construit par apprentissage automatique ; effectuer un calcul conformément à un algorithme défini par le modèle ; et délivrer à partir du modèle une valeur d'indice indiquant si le processus de correspondance a réussi ou a échoué.
(JA)
画像マッチング判定方法は、設計データ上のCADパターンに基づいて作成されたパターンを有する対象物を移動ステージにより所定の撮像位置まで移動させ、所定の撮像位置にある対象物のパターンの実画像を生成し、移動ステージの移動ベクトルを算出し、CADパターンと、実画像上のパターンとのマッチング処理を実行し、CADパターンと、実画像上のパターンとのずれ量を算出し、CADパターンの形状データと、ずれ量と、移動ステージの移動ベクトルを、機械学習により構築されたモデルに入力し、モデルによって定義されたアルゴリズムに従って計算を実行することで、モデルから、マッチング処理が成功したか、または失敗したかを示す指標値を出力する。
他の公開
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