(EN) This invention provides an optical measurement method that makes it possible to measure a blank value and signal value using a single optical measurement device while using a turntable. This optical measurement method uses a turntable capable of turning in a first turning direction and a second turning direction that is the reverse direction from the first turning direction. The optical measurement method comprises a step for obtaining a blank value by using an optical measurement device to measure light from an inspection chip, a step for producing a signal from the inspection chip for which the blank value was measured, and a step for obtaining a signal value by using the optical measurement device to measure light from the inspection chip producing the signal. The step for producing the signal is carried out after the inspection chip for which the blank value was measured is moved in the first turning direction. The step for obtaining the signal value is carried out using the optical measurement device after the inspection chip that has been made to produce the signal is moved in the second turning direction.
(FR) La présente invention concerne un procédé de mesure optique qui permet de mesurer une valeur à blanc et une valeur de signal à l'aide d'un seul dispositif de mesure optique tout en utilisant un plateau tournant. Ce procédé de mesure optique utilise un plateau tournant pouvant tourner dans une première direction de rotation et dans une seconde direction de rotation qui est la direction inverse de la première direction de rotation. Le procédé de mesure optique comprend une étape consistant à obtenir une valeur à blanc à l'aide d'un dispositif de mesure optique pour mesurer la lumière provenant d'une puce à inspecter, une étape consistant à produire un signal à partir de la puce à inspecter pour laquelle la valeur à blanc a été mesurée, et une étape consistant à obtenir une valeur de signal à l'aide du dispositif de mesure optique pour mesurer la lumière provenant de la puce à inspecter produisant le signal. L'étape consistant à produire le signal est effectuée après déplacement de la puce à inspecter, pour laquelle la valeur à blanc a été mesurée, dans la première direction de rotation. L'étape consistant à obtenir la valeur de signal est effectuée à l'aide du dispositif de mesure optique après déplacement de la puce à inspecter, qui a été amenée à produire le signal, dans la seconde direction de rotation.
(JA) 本発明は、回転テーブルを用いながらも、１つの光学測定機器を用いてブランク値およびシグナル値を測定することができる光学測定方法を提供することに関する。光学測定方法は、第１回転方向、および第１回転方向の逆方向である第２回転方向に回転可能な回転テーブル用いる。光学測定方法は、検査チップからの光を光学測定機器を用いて測定してブランク値を得る工程と、前記ブランク値を測定した検査チップからシグナルを発生させる工程と、前記シグナルが発生している前記検査チップからの光を前記光学測定機器を用いて測定してシグナル値を得る工程と、を有する。前記シグナルを発生させる工程は、前記ブランク値を測定した前記検査チップを前記第１回転方向に移動させた後に行われる。前記シグナル値を得る工程は、前記シグナルを発生させた前記検査チップを前記第２回転方向に移動させた後に前記光学測定機器を用いて行われる。