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1. WO2020130090 - 露光装置用光照射装置

公開番号 WO/2020/130090
公開日 25.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/049905
国際出願日 19.12.2019
IPC
G03F 7/20 2006.01
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20露光;そのための装置
H01L 21/26 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
26波または粒子の輻射線の照射
出願人
  • 株式会社ブイ・テクノロジー V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 吉本 芳幸 YOSHIMOTO Yoshiyuki
代理人
  • 特許業務法人栄光特許事務所 EIKOH PATENT FIRM, P.C.
優先権情報
2018-23934521.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) LIGHT IRRADIATION DEVICE FOR LIGHT EXPOSURE DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'IRRADIATION À LA LUMIÈRE ET DISPOSITIF D'EXPOSITION À LA LUMIÈRE
(JA) 露光装置用光照射装置
要約
(EN)
The present invention comprises: a support body (58) comprising a plurality of cassettes (55) that have light source units (51) attached to light source support units (54), said plurality of cassettes (55) being attached to cassette support units (56); and an exhaust device (76) that cools the plurality of light source units (51). The output of the exhaust device (76) is controlled on the basis of the temperature detected by a temperature sensor (75) for a dummy light source unit (71), such that the temperature of the light source units (51) is within a prescribed temperature range. As a result, the temperature of light source units can be controlled within an appropriate range and deterioration in performance of or damage to the light source units can be suppressed, using a simple mechanism.
(FR)
La présente invention comprend : un corps de support (58) comprenant une pluralité de cassettes (55) qui comportent des unités de source de lumière (51) fixées à des unités de support de source de lumière (54), ladite pluralité de cassettes (55) étant fixées à des unités de support de cassette (56) ; et un dispositif d'échappement (76) qui refroidit la pluralité d'unités de source de lumière (51). La sortie du dispositif d'échappement (76) est réglée sur la base de la température détectée par un capteur de température (75) pour une unité de source de lumière factice (71) de telle sorte que la température des unités de source de lumière (51) se situe dans une plage de température prescrite. Par conséquent, la température des unités de source de lumière peut être réglée dans une plage appropriée et la détérioration des performances ou des dommages des unités de source de lumière peut être supprimée à l'aide d'un mécanisme simple.
(JA)
光源部(51)を光源支持部(54)に取り付けた複数のカセット(55)が、さらにカセット支持部(56)に取り付けられてなる支持体(58)と、複数の光源部(51)を冷却する排気装置(76)と、を備え、ダミー光源部(71)の温度センサ(75)によって検出された温度に基づいて、光源部(51)の温度が所定の温度範囲内になるように排気装置(76)の出力を制御する。これにより、簡単な機構により、光源部の温度を適切な範囲内に制御して、光源部の性能劣化や破損を抑制できる。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報