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1. WO2020130083 - 圧電素子の製造方法、電子機器の製造方法、圧電素子、および電子機器

公開番号 WO/2020/130083
公開日 25.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/049855
国際出願日 19.12.2019
IPC
C01G 23/00 2006.01
C化学;冶金
01無機化学
GサブクラスC01DまたはC01Fに包含されない金属を含有する化合物
23チタン化合物
H01L 41/09 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
09電気的入力および機械的出力をもつもの
H01L 41/187 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
16材料の選択
18圧電または電歪素子用
187セラミック組成物
H01L 41/257 2013.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
22圧電または電歪装置またはその部品の組み立て,製造または処理に特に適用される方法または装置
253圧電特性または電歪特性を修正する装置またはその部品の取扱い,例.分極の特徴,振動の特徴またはモード同調
257分極方法による
C04B 35/468 2006.01
C化学;冶金
04セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
01酸化物を基とするもの
46酸化チタンまたはチタン酸塩を基とするもの
462チタン酸塩を基とするもの
465アルカリ土類金属のチタン酸塩を基とするもの
468チタン酸バリウムを基とするもの
出願人
  • キヤノン株式会社 CANON KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP]
発明者
  • 上田 未紀 UEDA Miki
  • 松田 堅義 MATSUDA Takanori
  • 古田 達雄 FURUTA Tatsuo
  • 薮田 久人 YABUTA Hisato
  • 上林 彰 UEBAYASHI Akira
代理人
  • 岡部 讓 OKABE Yuzuru
  • 齋藤 正巳 SAITO Masami
優先権情報
2018-24015621.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) METHOD FOR MANUFACTURING PIEZOELECTRIC ELEMENT, METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICE, PIEZOELECTRIC ELEMENT, AND ELECTRONIC DEVICE
(FR) MÉTHODE DE FABRICATION D’ÉLÉMENT PIÉZOÉLECTRIQUE, MÉTHODE DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE ET DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
(JA) 圧電素子の製造方法、電子機器の製造方法、圧電素子、および電子機器
要約
(EN)
Provided is a manufacturing method for manufacturing a piezoelectric material having a high electromechanical coupling coefficient. The manufacturing method for solving the problem comprises the step of rising the temperature of a piezoelectric material, which has a lower-temperature-side ferroelectric phase A and a higher-temperature-side ferroelectric phase B each capable of undergoing phase transition upon the change in temperature, from room temperature to a temperature falling within a temperature range between T(B→A) and T(A→B) exclusive, starting the application of an electric field while retaining the piezoelectric material in the above-mentioned temperature range, then continuing the application of the electric field at a temperature lower than T(A→B), and then terminating the application of the electric field, wherein T(B→A) represents the temperature at which the phase transition from the ferroelectric phase B to the ferroelectric phase A occurs in the piezoelectric material by a temperature lowering process, and T(A→B) represents the temperature at which the phase transition from the ferroelectric phase A to the ferroelectric phase B occurs in the piezoelectric material by a temperature rising process.
(FR)
L'invention concerne une méthode de fabrication pour fabriquer un matériau piézoélectrique ayant un coefficient de couplage électromécanique élevé. La méthode de fabrication pour résoudre le problème comprend l'étape consistant à élever la température d'un matériau piézoélectrique, qui a une phase ferroélectrique du côté basse température A et une phase ferroélectrique du côté température élevée B chacune capable de subir une transition de phase lors du changement de température, d'une température ambiante à une température tombant dans une plage de température entre T(B→A) et T(A→B) exclusif, à démarrer l'application d'un champ électrique tout en retenant le matériau piézoélectrique dans la plage de température mentionnée ci-dessus, puis à continuer l'application du champ électrique à une température inférieure à T(A→B), puis à terminer l'application du champ électrique, T(B→A) représentant la température à laquelle la transition de phase de la phase ferroélectrique B à la phase ferroélectrique A se produit dans le matériau piézoélectrique par un procédé d'abaissement de température, et T(A→B) représentant la température à laquelle la transition de phase de la phase ferroélectrique A à la phase ferroélectrique B se produit dans le matériau piézoélectrique par un procédé de montée en température.
(JA)
高い電気機械結合係数を有する圧電材料を製造するための製造方法を提供する。 上記課題を解決するための製造方法は、温度変化によって相転移する低温側の強誘電相Aと高温側の強誘電相Bを有する圧電材料における降温過程によって強誘電相Bから強誘電相Aに変化する温度をT(B→A)、昇温過程によって強誘電相Aから強誘電相Bに変化する温度をT(A→B)、としたときに、圧電材料を室温からT(B→A)より高くT(A→B)より低い温度領域まで昇温し、圧電材料を該温度領域に保持した状態で電界の印加を開始し、T(A→B)より低い温度で電界の印加を継続し終了する工程を有する。
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