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1. WO2020130045 - スリットコーター

公開番号 WO/2020/130045
公開日 25.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/049660
国際出願日 18.12.2019
IPC
B05C 5/02 2006.01
B処理操作;運輸
05霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
C液体または他の流動性材料を表面に適用する装置一般
5液体または他の流動性材料が被加工物の表面上に射出,注出あるいは流下されるようにした装置
02被加工物と接触またはほとんど接触している出口機構からのもの
出願人
  • 株式会社飯沼ゲージ製作所 IINUMA GAUGE MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 福居 克幸 FUKUI Katsuyuki
  • 宮崎 大輔 MIYAZAKI Daisuke
代理人
  • めぶき国際特許業務法人 MEBUKI IP LAW FIRM
  • 松尾 誠剛 MATSUO, Nobutaka
優先権情報
2018-23596418.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SLIT COATER
(FR) COUCHEUSE À FENTE
(JA) スリットコーター
要約
(EN)
[Problem] To provide a slit coater with which a slit cap can be easily switched and a coating film with an arbitrary shape can be formed. [Solution] This slit coater (1) has: a slit die (20) that has a fixed die plate (24), a movable die plate (21) movable in the lengthwise direction relative to the fixed die plate (24), and a slit-like nozzle (81) formed on a joining surface between the fixed die plate (24) and the movable die plate (21); a movable die plate sliding mechanism (23) for moving the movable die plate (21) to change the slit length of the slit-like nozzle (81); a slit die sliding mechanism (22) for moving the slit die (20) along a main frame (8); and a stage driving mechanism (12) for transporting a substrate (3), wherein the fixed die plate (24) and the movable die plate (21) are respectively provided with seam plates (76, 71) that are detachably fixed thereto and that specify the sizes of slit gaps G of the slit-like nozzle (81).
(FR)
Le problème décrit par la présente invention est de fournir une coucheuse à fente avec laquelle un capuchon fendu peut être facilement changé et un film de revêtement ayant une forme arbitraire peut être formé. La solution selon l'invention porte sur une coucheuse à fente (1) qui comporte : une matrice à fente (20) qui a une plaque de matrice fixe (24), une plaque de matrice mobile (21) pouvant se déplacer dans la longueur par rapport à la plaque de matrice fixe (24) et une buse de type à fente (81) formée sur une surface de jonction entre la plaque de matrice fixe (24) et la plaque de matrice mobile (21); un mécanisme de coulissement (23) de plaque de matrice mobile pour déplacer la plaque de matrice mobile (21) pour changer la longueur de fente de la buse de type à fente (81); un mécanisme de coulissement (22) de matrice à fente pour déplacer la matrice à fente (20) le long d'un cadre principal (8); et un mécanisme d'entraînement d'étage (12) pour transporter un substrat (3), la plaque de matrice fixe (24) et la plaque de matrice mobile (21) étant respectivement pourvues de plaques d'assemblage (76, 71) qui sont fixées de manière amovible à celles-ci et qui spécifient les tailles d'espaces de fente (G) de la buse de type à fente (81).
(JA)
【課題】スリットギャップの切換えが容易で、任意形状の塗膜を形成することが可能なスリットコーターを提供する。 【解決手段】 固定ダイプレート24、固定ダイプレート24に対して長さ方向に移動可能な可動ダイプレート21及び固定ダイプレート24と可動ダイプレート21との接合面に形成されるスリット状ノズル81とを有するスリットダイ20と、可動ダイプレート21を移動させてスリット状ノズル81のスリット長を変更する可動ダイプレートスライド機構23と、スリットダイ20をメインフレーム8に沿って移動させるスリットダイスライド機構22と、基板3を搬送するステージ駆動機構12とを有し、固定ダイプレート24及び可動ダイプレート21には、それぞれスリット状ノズル81のスリットギャップGの大きさを規定するシムプレート76,71が着脱可能に固定されているスリットコーター1。
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